Detecção de presença e posição de wafers "on Blade"

Detecção de presença e posição de wafers "on Blade"

Duas alternativas de barreira fotoelétrica de referência para sistemas Load-Lock

A solução

Os nossos sensores optoeletrônicos BOH detectam de maneira confiável a presença e a posição dos wafers "on Blade". E sem zona morta. A sua altura de instalação ultraplana permite uma integração com economia de espaço em seu sistema.

As características específicas

  • com economia de espaço em função da altura de construção ultraplana (1,7 mm)
  • sem zona morta
  • cabo em PTFE com desgaseificação otimizada
  • ajuste remoto simples por meio de amplificador externo
Detecção de presença e posição de wafers "on Blade"
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