Centralização de wafers na trava de vácuo

Centralização de wafers na trava de vácuo

Duas alternativas de barreira fotoelétrica de referência para sistemas Load-Lock

A solução – variante 1

Uma variante para a implementação de uma barreira fotoelétrica de referência para a centralização de wafers é oferecida pelos nossos sensores optoeletrônicos BOH. Eles estão disponíveis como modelo de aparafusamento com invólucro em aço inoxidável robusto com função de vedação e trabalham através de micro-óticas com pequeno ponto de luz. O ajuste fino pode ser realizado de forma confortável através do amplificador externo.

As características específicas

  • modelo para aparafusamento
  • invólucro em aço inoxidável robusto com função de vedação
  • micro-óticas com ponto de luz pequeno
  • para aplicações em vácuo até 1x10-9 mbar
  • ajuste remoto simples por meio de amplificador externo

A solução – variante 2

Como alternativa, estão disponíveis os nossos sensores óticos difusos ou barreiras fotoelétricas unidirecionais BOH com micro-ótica integrada, que podem ser adaptados conforme as suas exigências específicas.

As características específicas

  • micro-ótica integrada para a sua moldura individual
  • para aplicações em vácuo até 1x10-9 mbar
Barreira fotoelétrica de referência para a centralização de wafers na trava de vácuo (Load-Lock)
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