Для поддержки стабильности технологического процесса
Для поддержки стабильности технологического процесса

Для поддержки стабильности технологического процесса

Особенности конструкции датчиков Balluff позволяют использовать их непосредственно в вакуумной среде. Например, если при выравнивании в процессе перемещения пластина центрируется в вакуумном шлюзе, а также если необходимо контролировать ее наличие.

Вы можете приобрести у нас варианты с резьбовым креплением и функцией герметизации или датчики для монтажа непосредственно в среде с высоким уровнем вакуума. Их сигналы надежно передаются наружу по электрическим проводом, проложенным через герметичные вводы. Что при этом особенно интересно: так как мы используем для производства датчиков материалы, специально оптимизированные для систем дегазации, стабильность технологического процесса гарантирована на прежнем уровне. По вашему желанию мы можем также произвести датчики из предложенных вами материалов.

Примеры применения

  • Центрирование пластины

    Центрирование пластины

    Решение

    Проблему выравнивания пластины «на ходу» можно легко решить с помощью двух фоторелейных барьеров Micromote. Их высокоточные сигналы позволяют рассчитать смещение относительно идеальной линии, если переключение двух фоторелейных барьеров осуществляется не одновременно. Благодаря нашей технологии Microspot вы можете корректировать положение пластины во время движения, так как она позволяет точно распознавать острые края пластин.

    Особенности

    • Абсолютная однородность и идеальная фокусировка светового пятна, формируемого светодиодами
    • Самые компактные конструкции для экономии места
    Центрирование пластины
    Поиск подходящих продуктов Загрузка

    Команда промышленных специалистов

    У вас остались вопросы или вам нужна консультация? Специалисты нашего промышленного отдела с удовольствием ответят на ваши вопросы.

  • Распознавание наличия пластины

    Распознавание наличия пластины

    Решение

    Наши оптические щупы, специально оптимизированные для систем дегазации, позволяют контролировать наличие пластины или контейнера для обеспечения надежного технологического процесса. Инфракрасные датчики с внешним усилителем отлично подходят для использования в вакуумной среде. Их ультраплоская конструкция с высотой всего 1,7 мм и небольшой контактной поверхностью идеально соответствует ограниченному пространству вакуумной камеры.

    Особенности

      • Экономия места благодаря ультраплоской конструкции
      • Отсутствие зоны нечувствительности
      • Высокая прочность благодаря корпусу из нержавеющей стали
      Распознавание наличия пластины
      Поиск подходящих продуктов Загрузка

      Команда промышленных специалистов

      У вас остались вопросы или вам нужна консультация? Специалисты нашего промышленного отдела с удовольствием ответят на ваши вопросы.

    • Проверка наличия пластины

      Проверка наличия пластины

      Решение

      Наши оптоэлектронные датчики с выносным электронным блоком распознают наличие пластины или контейнера через смотровой канал с помощью специальные оптические приспособления с малой световой меткой. Оптимизированные для использования в вакуумной среде оптические щупы имеют корпус из нержавеющей стали и легко вворачиваются в технологическую камеру. Благодаря этому герметизация технологической камеры и места ввода кабеля не требуется.

      Особенности

      • Микрооптика с малой световой меткой
      • Прочный корпус из нержавеющей стали с функцией герметизации
      • Возможность использования в вакуумной среде до 1 × 10–9 мбар
      Проверка наличия пластины
      Поиск подходящих продуктов Загрузка

      Команда промышленных специалистов

      У вас остались вопросы или вам нужна консультация? Специалисты нашего промышленного отдела с удовольствием ответят на ваши вопросы.