Высокая точность также между этапами технологического процесса
Высокая точность также между этапами технологического процесса

Высокая точность также между этапами технологического процесса

Компания Balluff гарантирует вам высокую точность при совершении различных манипуляций с пластинами в модуле EFEM, равно как и в исполнительном модуле и системе предварительного выравнивания. Так как только высочайшая точность может обеспечить необходимую аккуратность при позиционировании и надежность при передаче пластин на каждый отдельный участок обработки.

Наши датчики и системы имеют компактную конструкцию, что позволяет легко встраивать их в машину. В особо сложных ситуациях – в конце концов, каждый исполнительный орган выглядит по-разному – мы можем также адаптировать нашу технологию к вашим индивидуальным требованиям.

Бесконтактный принцип измерения позволяет предотвратить износ и, как следствие, гарантировать поддержание класса чистого помещения в течение всего технологического процесса. Обеспечьте безопасность технологического процесса с помощью надежной функции контроля манипуляций с пластинами.

Примеры применения

  • Распознавание положения робота

    Распознавание положения робота

    Решение

    Вы используете несколько загрузочных портов? Или несколько технологических камер? Наши высокоточные магнитно-кодируемые системы измерения положения позволяют надежно контролировать перемещения роботизированных модулей. Бесконтактные системы измерения перемещений непрерывно отслеживают положение роботов. При этом магнитную ленту можно укоротить в зависимости от индивидуальных требований. Это позволит эффективно использовать систему для модулей с различным количество загрузочных портов.

    Особенности

    • Бесконтактный принцип действия, исключающий трение и появление сколов
    • Высокая гибкость: индивидуальная подгонка длины магнитной ленты (до 48 м)
    Распознавание положения робота
    Поиск подходящих продуктов Загрузка

    Команда промышленных специалистов

    У вас остались вопросы или вам нужна консультация? Специалисты нашего промышленного отдела с удовольствием ответят на ваши вопросы.

  • Надежный контроль поворачивания робота
  • Ориентация пластины в системе предварительного выравнивания

    Ориентация пластины в системе предварительного выравнивания

    Решение

    Подводите пластины к технологической камере в идеальной ориентации, предварительно точно выровняв их в системе предварительного выравнивания. Мы предлагаем великолепное решение для оптических систем предварительного выравнивания: световая полоса с высоким разрешением и абсолютно однородным светом. Она позволяет распознавать в том числе выборки или плоскости для точного центрирования пластины. Кроме этого, наша световая полоса идеально интегрируется в любую систему предварительного выравнивания.

    Особенности

    • Высокоточный лазер красного света: высокое разрешение и абсолютная однородность
    • Эффективное решение индивидуальных задач благодаря различной длине света
    • Интуитивно-понятное управление
    Ориентация пластины в системе предварительного выравнивания
    Поиск подходящих продуктов Загрузка

    Команда промышленных специалистов

    У вас остались вопросы или вам нужна консультация? Специалисты нашего промышленного отдела с удовольствием ответят на ваши вопросы.

  • Проверка наличия пластины в исполнительном органе

    Проверка наличия пластины в исполнительном органе

    Решение

    Наши оптические щупы, специально оптимизированные для систем дегазации, позволяют надежно контролировать наличие пластины в исполнительном органе, благодаря чему вы можете не опасаться столкновений. Наши оптические щупы идеально встраиваются в исполнительный орган, даже если он очень тонкий – благодаря минимальной конструктивной высоте всего 1,7 мм.

    Особенности

    • Идеальный вариант для исполнительных органов благодаря абсолютно плоской конструкции
    • Возможность использования в чистых помещениях: оптимизация для систем дегазации!
    • Простая дистанционная настройка
    Проверка наличия пластины в исполнительном органе
    Поиск подходящих продуктов Загрузка

    Команда промышленных специалистов

    У вас остались вопросы или вам нужна консультация? Специалисты нашего промышленного отдела с удовольствием ответят на ваши вопросы.

  • Проверка наличия пластины в исполнительном органе

    Проверка наличия пластины в исполнительном органе

    Решение

    В качестве альтернативы можно контролировать наличие пластины в исполнительном органе с помощью емкостных датчиков с покрытием PTFE. Они в высшей степени надежно распознают ультратонкие пластины, даже если они провисают. При этом их конструктивная высота составляет всего 2,5 мм, что обеспечивает легкое встраивание в исполнительные органы. Благодаря внешнему усилителю существует возможность простой дистанционной настройки.

    Особенности

    • Абсолютно плоская конструкция – всего 2,5 мм
    • Возможность использования на различных поверхностях благодаря корпусу с покрытием PTFE
    • Высокая точность даже в самом ограниченном пространстве
    Проверка наличия пластины в исполнительном органе
    Поиск подходящих продуктов Загрузка

    Команда промышленных специалистов

    У вас остались вопросы или вам нужна консультация? Специалисты нашего промышленного отдела с удовольствием ответят на ваши вопросы.

  • Надежное размещение эл-в на пластине

    Надежное размещение элементов на пластине

    Решение

    Распознавайте края пластин даже толщиной всего несколько микрон с абсолютной надежностью. Идеально контролируемое и фокусируемое световое пятно наших датчиков Micromote обеспечивает высочайший уровень точности. В то же время наши датчики Micromote гарантируют надежное распознавание полных гнезд, сдвоенных или перекошенных пластин. Кроме этого, вы получите большую свободу при конструировании благодаря гибким кабелям и компактным конструкциям датчиков.

    Особенности

    • Высочайшая точность даже в самом узком пространстве – минимальный угол открытия
    • Возможность адаптации к самым различным исполнительным органам
    • Модульная система – идеальный вариант для специфических механических условий монтажа
    Надежное размещение элементов на пластине
    Поиск подходящих продуктов Загрузка

    Команда промышленных специалистов

    У вас остались вопросы или вам нужна консультация? Специалисты нашего промышленного отдела с удовольствием ответят на ваши вопросы.

  • Отслеживание рамок пластин

    Отслеживание рамок пластин

    Решение

    Обеспечьте полную прозрачность процесса, отслеживая рамки пластин с помощью наших видеосистем. Для этого снабдите рамки штрих-кодами, которые будут непрерывно считываться видеосистемами. Таким образом вы в любой момент будете знать, что пластина уже была зашлифована и разделена.

    Особенности

    • Надежное решение для отслеживания
    • Простое и интуитивно-понятное управление
    Отслеживание рамок пластин
    Поиск подходящих продуктов Загрузка

    Команда промышленных специалистов

    У вас остались вопросы или вам нужна консультация? Специалисты нашего промышленного отдела с удовольствием ответят на ваши вопросы.