Обработка пластин

Чтобы удовлетворить особые требования, предъявляемые к производству полупроводников, компания Balluff предлагает вам оптимальные решения для реализации технологических процессов в сфере производства нано- и ультрадисперсных неорганических порошков из водных и неводных растворов. Специальные корпуса из PTFE обеспечивают надежный контроль уровня наполнения, к примеру, при травлении, очистке пластин, нанесении покрытий или проявке в рамках литографии. То, что при этом температура также поддерживается на надлежащем уровне, – заслуга наших датчиков температуры. С помощью контактных датчиков можно надежно контролировать температуру в процессе обработки пластин.

Кроме этого, с помощью наших датчиков можно контролировать ход клапана, что обеспечит формирование идеально ровных слоев при осаждении.