Berührungslos exakt positionieren
Berührungslos exakt positionieren

Berührungslos exakt positionieren

Balluff Systeme unterstützen das präzise und effiziente Carrier-Handling – ob es sich beim Carrier um einen FOUP oder einen SMIF-Pod handelt. Mit unseren Systemen überwachen Sie beim vollautomatischen Transport der Carrier die Bewegungen des AMHS. Und dies äußerst zuverlässig, sowohl auf Kurzstrecken mit RGVs als auch auf Langstrecken mit OHVs.

Zugleich sorgen die berührungslosen Systeme für die exakte Positionierung. Ihre Wafer lassen sich dadurch sicher jedem Bearbeitungsschritt zuführen. Reibung und Abspaltung sind damit kein Problem.

Balluff Systeme gewährleisten darüber hinaus eine durchgängige Rückverfolgbarkeit. Diese stellen sicher, dass die Carrier-Position in Echtzeit dokumentiert wird.

Applikationsbeispiele

  • Anwesenheit des Carriers prüfen

    Anwesenheit des Carriers prüfen

    Die Lösung

    Um die Anwesenheit eines Carriers auf einem Loadport zu detektieren, sind unsere platzsparenden Lichtschranken und Lichttaster ideal. Diese lassen sich durch ihren besonders flachen Aufbau optimal integrieren. Die geringe Installationsfläche auf dem Loadport, der oft nicht viel größer ist als die Transportbox, ist damit einfach einzuhalten. Dadurch gewährleisten Sie, dass sich die Maschine nur öffnet, wenn ein Carrier angedockt ist.

    Die Besonderheiten

      • sehr flacher Aufbau
      • platzsparend
      • individueller Fokus
      Anwesenheit des Carriers prüfen
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      Industrie Team

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    • Carrier sicher rückverfolgen

      Carrier sicher rückverfolgen

      Die Lösung

      Um im AMHS-System die Carrier- Positionen rückverfolgen zu können, statten Sie die Carrier mit optisch les­baren 2D-Codes aus. Unsere Kameras lesen Datamatrix-, QR- und Barcodes, sodass diese jede Bewegung der zum Transport eingesetzten Carrier prüfen. Und Sie wissen jederzeit, wo sich die Carrier genau befinden.

      Die Besonderheiten

      • leicht integrierbar, intuitiv und einfach zu bedienen
      • alle Daten an zentraler Stelle verfügbar
      • minimale Datenbelastung, da Massendaten vom Prozess­netzwerk abkoppelbar
      Carrier sicher rückverfolgen
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      Industrie-Team

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    • Position des AMHS kontinuierlich erfassen

      Position des AMHS kontinuierlich erfassen

      Die Lösung

      Wenn es um eine kontinuierliche Positionserfassung der Transportfahrzeuge geht, sind Sie mit unseren magnetkodierten Positionsmesssystemen auf der sicheren Seite. Die Systeme lassen sich individuell auf Ihre Messstrecke anpassen. Dabei sind sie hochpräzise, sodass die reibungslose Übergabe Ihrer Carrier an die Loadports möglich ist.

      Die Besonderheiten

      • berührungsloses Messprinzip, d. h. verschleißfrei
      • extrem zuverlässig und hochpräzise
      • vielfältig einsetzbar: ablängbares Magnetband bis 48 m
      Position des AMHS kontinuierlich erfassen
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      Industrie-Team

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    • Endposition des AMHS kontrollieren

      Endposition des AMHS kontrollieren

      Die Lösung

      Bei uns stehen Ihnen verschiedene Türen offen, um die Endposition Ihrer Fahrzeuge zu kontrollieren, auf denen die Carrier transportiert werden. Je nach Anforderung empfehlen wir induktive, kapazitive oder optoelektronische Sensoren. Damit überwachen Sie, dass das AMHS richtig platziert ist und Ihre Carrier können präzise an den Loadport übergeben werden.

      Die Besonderheiten

      • berührungslos, d. h. verschleißfrei
      • individuelle Anforderungen mit technischer Vielfalt effizient lösen
      Endposition des AMHS kontrollieren
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      Industrie-Team

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