Zur Unterstützung der Prozesssicherheit
Zur Unterstützung der Prozesssicherheit

Zur Unterstützung der Prozesssicherheit

Sensoren von Balluff bieten Ihnen durch außergewöhnliche Konstruktionsmerkmale die Möglichkeit, sie im Vakuum direkt einzusetzen. Beispielsweise, wenn der Wafer beim Alignment on the fly in der Vakuumschleuse zentriert wird, oder auch, wenn seine Anwesenheit kontrolliert werden soll.

So verfügen Sie bei uns über Einschraub-Ausführungen mit Dichtfunktion sowie über Sensoren zur Installation direkt im Hochvakuum. Deren Signale werden über elektrische Leitungen via Kabeldurchführung sicher herausgeführt. Ganz besonders interessant dabei: Da wir für den Sensor ausgasungsoptimierte Materialien verwenden, ist Ihr Prozess nach wie vor gesichert. Zusätzlich fertigen wir auf Ihren Wunsch die Sensoren auch in den von Ihnen vorgegebenen Materialien.

Applikationsbeispiele

  • Wafer zentrieren

    Wafer zentrieren

    Die Lösung

    Das Alignment des Wafers on the fly können Sie mit zwei Micromote-Lichtschranken ausgesprochen sicher lösen. Ihre hochpräzisen Signale ermöglichen es, den Versatz zur Ideallinie zu berechnen, wenn die Schaltung der beiden Lichtschranken nicht simultan erfolgt. Dank unserer Microspot-Technologie können Sie den Wafer während der Bewegung korrigieren, da sie die scharfen Wafer-Kanten präzise erkennt.

    Die Besonderheiten

    • extrem fokussierter LED-Spot mit herausragender Homogenität
    • kleinste, platzsparende Bauformen
    Wafer zentrieren
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    Industrie-Team

    Haben Sie Fragen oder wünschen eine Beratung? Unser Industrie-Team freut sich auf Ihre Anfrage.

  • Wafer-Anwesenheit erkennen

    Wafer-Anwesenheit erkennen

    Die Lösung

    Für einen sicheren Prozess kontrollieren Sie die Anwesenheit eines Wafers oder eines Carriers mit unseren ausgasungsoptimierten Lichttastern. Die Infrarotlicht-Sensoren mit externem Verstärker sind für den Einsatz im Vakuum geeignet. Ihre ultraflache Bauform mit nur 1,7 mm und kleiner Angriffsfläche sind für den begrenzten Platz in der Vakuumkammer perfekt.

    Die Besonderheiten

      • platzsparend durch ultraflache Bauhöhe
      • kein Totbereich
      • sehr robust, da Edelstahlgehäuse
      Wafer-Anwesenheit erkennen
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      Industrie-Team

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    • Wafer-Anwesenheit prüfen

      Wafer-Anwesenheit prüfen

      Die Lösung

      Unsere optoelektronischen Sensoren mit abgesetzter Elektronik erfassen durch spezielle Optiken mit kleinem Lichtpunkt die Präsenz eines Wafers oder Carriers durch einen Sichtkanal. Die für das Vakuum aus­gelegten Lichttaster im Edelstahlgehäuse schrauben Sie einfach in Ihre Prozesskammer ein. Damit ist die Kammer abgedichtet und eine Kabeldurchführung nicht mehr notwendig.

      Die Besonderheiten

      • Mikrooptiken mit kleinem Lichtpunkt
      • robustes Edelstahlgehäuse mit Dichtfunktion
      • für Vakuumanwendungen bis 1 × 10–9 mbar
      Wafer-Anwesenheit prüfen
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      Industrie-Team

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