Hochpräzision auch zwischen den Prozessschritten
Hochpräzision auch zwischen den Prozessschritten

Hochpräzision auch zwischen den Prozessschritten

Für das Wafer-Handling im EFEM-Modul, wie auf dem Endeffektor oder dem Pre-Aligner, erhalten Sie bei Balluff Hochpräzision. Denn nur mit äußerster Genauigkeit lassen sich Wafer exakt positionieren und zuverlässig jedem einzelnen Bearbeitungsschritt zuführen.

Unsere Sensoren und Systeme gibt es in kleiner Bauform, um die anspruchsvolle Integration in die Maschine einfach zu lösen. Für besonders diffizile Bedingungen – schließlich sieht jeder Endeffektor anders aus – können wir unsere Technik auch individuell an Ihre Anforderungen anpassen.

Die berührungslosen Messprinzipien vermeiden Abrieb, sodass die Reinraumklasse über den gesamten Prozess gewährleistet bleibt. Nutzen Sie die zuverlässige Überwachung des Wafer-Handlings und sichern Sie Ihren Prozess.

Applikationsbeispiele

  • Roboterposition erfassen

    Roboterposition erfassen

    Die Lösung

    Sie verwenden mehrere Loadports? Oder setzen mehrere Prozesskammern ein? Dann überwachen Sie mit unseren hochpräzisen magnetkodierten Positionsmesssystemen die Bewegung Ihrer Robotereinheiten zuverlässig. Die berührungslosen Wegmesssysteme kontrollieren kontinuierlich die Roboterposition. Dazu lässt sich das Magnetband individuell kürzen. So können Sie das System für Module mit unterschiedlich vielen Loadports flexibel nutzen.

    Die Besonderheiten

    • berührungslos, d. h. Reibung und Abspaltung kommen nicht vor
    • flexibler Einsatz: 48 m Magnetband individuell anpassen
    Roboterposition erfassen
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    Industrie-Team

    Haben Sie Fragen oder wünschen eine Beratung? Unser Industrie-Team freut sich auf Ihre Anfrage.

  • Rotation des Roboters zuverlässig überwachen

    Rotation des Roboters überwachen

    Die Lösung

    Um den Endeffektor des Roboters absolut genau zu positionieren, sind unsere magnetkodierten Winkelmesssysteme ideal. Diese prüfen die rotativen Bewegungen der Roboter­gelenke, die den Endeffektor transportieren, ihn in seine Endposition bringen und den Wafer schließlich ablegen.

    Die Besonderheiten

    • einfach integrierbarer, kleiner Sensorkopf
    • perfekt für Robotik, da geringes Gewicht
    • großer Abstand zwischen Sensor und Ring: einfache Montage – hohe Betriebssicherheit
    Rotation des Roboters überwachen
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    Industrie-Team

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  • Wafer im Pre-Alignment ausrichten

    Wafer im Pre-Alignment ausrichten

    Die Lösung

    Führen Sie Ihre Wafer perfekt ausgerichtet der Prozesskammer zu, indem Sie diese im Pre-Alignment exakt positionieren. Für optische Pre-Aligner erhalten Sie bei uns eine hervorragende Lösung: ein hochauflösendes Lichtband mit außergewöhnlicher Homogenität. Damit erfassen Sie auch Notch oder Flat, um den Wafer genau zu zentrieren. Zusätzlich können Sie unser Lichtband ideal in Ihrem Pre-Aligner integrieren.

    Die Besonderheiten

    • sehr präziser Rotlichtlaser: hochauflösend und außergewöhnlich homogen
    • individuelle Anforderungen über unterschiedliche Lichtlängen lösen
    • intuitiv bedienbar
    Wafer im Pre-Alignment ausrichten
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  • Wafer-Anwesenheit auf Endeffektor prüfen

    Wafer-Anwesenheit auf Endeffektor prüfen

    Die Lösung

    Mit unseren ausgasungsoptimierten optischen Lichttastern prüfen Sie die Anwesenheit des Wafers auf dem End­effektor absolut verlässlich, sodass Sie Crashes nicht befürchten müssen. Unsere Lichttaster lassen sich perfekt in den Endeffektor integrieren, auch wenn dieser extrem dünn ist. Denn ihre Einbauhöhe ist mit nur 1,7 mm sehr gering.

    Die Besonderheiten

    • perfekt für den Endeffektor, da extrem flach
    • für den Reinraum geeignet: ausgasungsoptimiert!
    • einfache Fernjustage
    Wafer-Anwesenheit auf Endeffektor prüfen
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  • Wafer-Anwesenheit auf Endeffektor prüfen

    Wafer-Anwesenheit auf Endeffektor prüfen

    Die Lösung

    Ob der Wafer auf dem Endeffektor liegt, können Sie alternativ mit unseren kapazitiven Sensoren mit PTFE- Beschichtung kontrollieren. Diese erfassen ultradünne Wafer ausgesprochen zuverlässig, auch wenn diese durchhängen. Ihre Einbauhöhe beträgt nur 2,5 mm, sodass die Integration in die Endeffektoren gut gelingt. Durch ihren externen Verstärker ist es möglich, diese einfach fernzujustieren.

    Die Besonderheiten

    • extrem flach – nur 2,5 mm
    • auch für verschiedene Oberflächen geeignet, da PTFE-Gehäuse
    • hohe Präzision auf kleinstem Bauraum
    Wafer-Anwesenheit auf Endeffektor prüfen
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    Industrie-Team

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  • Wafer-Position auf Endeffektor abfragen

    Wafer-Position auf Endeffektor abfragen

    Die Lösung

    Eine weitere Methode, um die Anwesenheit des Wafers auf dem Endeffektor zu bestimmen und gleichzeitig die exakte Position zu erfassen, steht Ihnen über unsere induktive Sensorik offen. Unsere kurzschlusssicheren NAMUR-Sensoren lassen sich nebeneinander installieren, sodass Sie sogar verschiedene Positionen abfragen können. Mit Bauformen ab Ø 4 mm sind diese selbstverständlich auch auf dem End­effektor integrierbar.

    Die Besonderheiten

      • Kabelbruch und Kurzschluss zuverlässig erkennen
      • individuell einsetzen, da verschiedene Bauformen verfügbar
      • auf Endeffektor integrierbar
      Wafer-Position auf Endeffektor abfragen
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      Industrie-Team

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    • Sicheres Wafer-Mapping

      Sicheres Wafer-Mapping

      Die Lösung

      Erkennen Sie die Kanten der wenigen µm-dicken Wafer absolut sicher. Der äußerst kontrollierte und fokussierte Lichtspot unserer Micromote-Sensoren bietet Ihnen dazu eine überragende Präzision. Gleichzeitig gewährleisten unsere Micromote-Sensoren, dass volle Slots, doppelte Wafer oder Wafer in Schieflage jederzeit sicher erkannt werden. Durch flexible Kabel und kleine Bauformen genießen Sie große Konstruktionsfreiheit.

      Die Besonderheiten

      • überragende Präzision auf engstem Raum – minimaler Öffnungswinkel
      • an unterschiedlichste Endeffektoren adaptierbar
      • modulares Baukastensystem – perfekt für spezifische mechanische Einbausituationen
      Sicheres Wafer-Mapping
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      Industrie-Team

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    • Wafer-Frames rückverfolgen

      Wafer-Frames rückverfolgen

      Die Lösung

      Sichern Sie sich einen transparenten Prozess, indem Sie Ihre Wafer-Rahmen von unseren Vision-Systemen rück­verfolgen lassen. Die Rahmen statten Sie dafür mit Barcodes aus, die die Systeme verlässlich prüfen. So wissen Sie jederzeit, ob ein Wafer bereits zurückgeschliffen und separiert wurde.

      Die Besonderheiten

      • zuverlässige Lösung zur Rückverfolgung
      • einfache, intuitive Bedienung
      Wafer-Frames rückverfolgen
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      Industrie-Team

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