Zuverlässig agieren in chemischer Umgebung
Zuverlässig agieren in chemischer Umgebung

Zuverlässig agieren in chemischer Umgebung

Um die besonderen Anforderungen bei der Halbleiterfertigung zu erfüllen, erhalten Sie bei Balluff optimale Lösungen für Prozesse in der Nasschemie. Spezielle PTFE-Gehäuse ermöglichen Ihnen die zuverlässige Füllstandskontrolle – wie beim Ätzen, beim Reinigen der Wafer oder dem Belacken und Entwickeln in der Lithographie. Dass dabei auch die Prozess­temperatur stimmt, ist Sache unserer Temperatursensoren. Denn mit den berührenden Sensoren über­wachen Sie die Temperaturen beim Wafer-Processing zuverlässig.

Mit unserer Sensorik kontrollieren Sie auch den Ventilhub, sodass Sie in der Deposition homogene und ideale Schichten erzeugen können.

Applikationsbeispiele

  • Füllstände durch Behälterwand berührungslos detektieren

    Füllstände durch Behälterwand berührungslos detektieren

    Die Lösung

    Sorgen Sie in der Nasschemie für eine reibungslose Prozesskette, indem Sie mit unseren kapazitiven Sensoren den idealen Füllstand von Säure-, Laugen- und Reinstwassertanks gewährleisten. Diese detektieren den Füllstand zuverlässig durch bis zu 10 mm dicke Glas- und Kunststoffwände. Für hochleitfähige Medien wie beispielsweise Säuren nutzen Sie unsere kapazitiven High-End-Sensoren, die zusätzlich Schaum und Anhaftung ausblenden.

    Die Besonderheiten

      • für Säuren, Laugen, Reinstwasser und Slurry
      • ohne Bypässe
      Füllstände durch Behälterwand berührungslos detektieren
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      Industrie-Team

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    • Füllstände berührungslos an Bypassrohren kontrollieren

      Füllstände berührungslos an Bypassrohren kontrollieren

      Die Lösung

      Ein Überlaufen der Tanks mit aggressivem chemischen Inhalt oder einen zu geringen Füllstand können Sie auch dann verhindern, wenn Sie Füllstände mit Hilfe von Bypassrohren kontrollieren. Montieren Sie unsere kompakten kapazitiven Sensoren dazu mit Kabelbindern am Bypassrohr. Dies ist einfach und kostengünstig. Um Schaum und Anhaftung zu kompensieren, gibt es High-End-Varianten für Sie, die hochleitfähige Medien wie etwa Laugen sicher detektieren.

      Die Besonderheiten

      • für Säuren, Laugen, Reinstwasser und Slurry
      • Schaum- und Anhaftungs- kompensation durch Smart Level Technologie
      Füllstände berührungslos an Bypassrohren kontrollieren
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      Industrie-Team

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    • Prozessflüssigkeiten medienberührend erfassen

      Prozessflüssigkeiten medienberührend erfassen

      Die Lösung

      Wenn die Behälterwand keine Detektion von außen erlaubt, sind unsere kapazitiven Sensoren im PTFE-Gehäuse die richtige Wahl. Diese erfassen den Füllstand hoch­leitfähiger Medien wie Säuren und Laugen direkt in der Prozess­flüssigkeit. Dadurch kann beispielsweise das Ätzen oder das Auf­bringen eines Resists, das Entwickeln nach der Lithographie oder das chemisch-mechanische Polieren und das Reinigen des Wafers wie geplant beginnen.

      Die Besonderheiten

      • hohe chemische Beständigkeit durch PTFE-Gehäuse
      • für Säuren, Laugen, Reinstwasser und Slurry
      • Schaum- und Anhaftungs- kompensation durch Smart Level Technologie
      Prozessflüssigkeiten medienberührend erfassen
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      Industrie-Team

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    • Füllstand kontinuierlich berührungslos erfassen

      Füllstand kontinuierlich berührungslos erfassen

      Die Lösung

      Sie möchten durchgängig wissen, wo der Füllstandspegel steht? Durch unsere selbstklebenden kapazitiven Sensor­köpfe mit Verstärker kein Problem: Füllstände lassen sich kontinuierlich erfassen, sodass Sie mit nur einem Sensor eine Minimal- oder Maximal­wertüberschreitung sowie Füllstände über den gesamten Bereich erkennen. Ziemlich praktisch dabei: Den flexiblen Sensorkopf können Sie individuell zuschneiden und einfach an derBehälterwand ankleben.

      Die Besonderheiten

      • kontinuierlich messen und Min- und Max-Füllstand im Griff
      • integrierte Klebefläche
      • großer Erfassungsbereich von 108 bis 850 mm
      Füllstand kontinuierlich berührungslos erfassen
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      Industrie-Team

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    • Leckage direkt überwachen

      Leckage direkt überwachen

      Die Lösung

      Unsere super kompakten kapazitiven Sensoren gewährleisten Ihnen, dass selbst kleinste Leckage-Mengen sicher erfasst werden. Mit dem mitgelieferten Halter befestigen Sie den Sensor auf 2 mm Abstand am Boden eines Tools und brauchen ihn dann nur noch ein­zustellen. Im Fall der Fälle, wenn aggressive Chemikalien wie beispielsweise Flusssäure auslaufen sollten, lassen sich entsprechende Maßnahmen sofort einleiten.

      Die Besonderheiten

      • einfache Montage durch mitgelieferten Halter
      • selbst kleinste Leckage-Mengen erkennen
      • zuverlässige Detektion verschiedener Chemikalien
      Leckage direkt überwachen
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      Industrie-Team

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    • Wafer-Temperatur bei jedem Prozessschritt einhalten

      Wafer-Temperatur bei jedem Prozessschritt einhalten

      Die Lösung

      Unsere medienberührenden Temperatursensoren unterstützen Sie, den Wärmegrad Ihrer Prozessmedien in temperaturgesteuerten Prozessen einzuhalten. Und dies in flüssigen oder gasförmigen Medien. Dabei können Sie kritische Prozesszustände wie Grenztemperaturen kontrollieren oder auch Temperaturwerte kontinuierlich überwachen. Für welchen Einsatz Sie sich auch immer entscheiden, in jedem Fall tragen diese Sensoren zur Prozesssicherheit bei.

      Die Besonderheiten

      • einfache Montage durch Einschraubfunktion
      • Temperatur direkt in flüssigen oder gasförmigen Medien messen
      • kompakte Bauformen
      Wafer-Temperatur bei jedem Prozessschritt einhalten
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      Industrie-Team

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    • Durchflussventile zuverlässig kontrollieren

      Durchflussventile zuverlässig kontrollieren

      Die Lösung

      Wenn der regelmäßige Durchfluss eines Mediums in die Prozesskammer über ein Ventil gesteuert wird, sollten Sie sich auf das Ventil verlassen können. Schließlich trägt der Durchfluss dazu bei, den hochwertigen Prozess einzu­halten. Überwachen Sie das Ventil daher mit unseren induktiven Sensoren. Diese sind robust und in so kleinen Bauformen wie M5 verfügbar, sodass diese sich gut in das Ventil integrieren lassen. Für große Zuverlässigkeit.

      Die Besonderheiten

      • gute Integration durch kleine Bauformen
      • LED nach Einbau sichtbar am hinteren Ende des Sensors
      • kein externer Verstärker notwendig
      Durchflussventile zuverlässig kontrollieren
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      Industrie-Team

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