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Hochpräzision auch zwischen den Prozessschritten

Hochpräzision auch zwischen den Prozessschritten

Für das Wafer-Handling im EFEM-Modul, wie auf dem Endeffektor oder dem Pre-Aligner, erhalten Sie bei Balluff Hochpräzision. Denn nur mit äußerster Genauigkeit lassen sich Wafer exakt positionieren und zuverlässig jedem einzelnen Bearbeitungsschritt zuführen.

Unsere Sensoren und Systeme gibt es in kleiner Bauform, um die anspruchsvolle Integration in die Maschine einfach zu lösen. Für besonders diffizile Bedingungen – schließlich sieht jeder Endeffektor anders aus – können wir unsere Technik auch individuell an Ihre Anforderungen anpassen.

Die berührungslosen Messprinzipien vermeiden Abrieb, sodass die Reinraumklasse über den gesamten Prozess gewährleistet bleibt. Nutzen Sie die zuverlässige Überwachung des Wafer-Handlings und sichern Sie Ihren Prozess.

Applikationsbeispiele

Roboterposition erfassen
Rotation des Roboters zuverlässig überwachen
Wafer im Pre-Alignment ausrichten
Wafer-Anwesenheit auf Endeffektor prüfen
Wafer-Anwesenheit auf Endeffektor prüfen
Wafer-Position auf Endeffektor abfragen
Sicheres Wafer-Mapping
Wafer-Frames rückverfolgen