Mapping-Sensor – Präzision auf kleinstem Raum

Mapping-Sensor
Mapping-Sensor

Im Endeffektor integrierbar und für das Wafer-Mapping ideal

Für das Wafer-Mapping erhalten Sie bei Balluff einen hochgenauen optoelektronischen Sensor, der sich in den Endeffektor perfekt integrieren lässt. Speziell für die zum Teil extrem dünnen Endeffektoren entwickelt, verfügt unser Mapping-Sensor über einen extrem kontrollierten und fokussierten Lichtspot mit herausragender Homogenität. So ermöglicht es der Sensor, die Kanten der wenige μm-dicken Wafer äußerst präzise zu erfassen. Und gewährleistet Ihnen, dass volle Slots, doppelte Wafer oder Wafer in Schieflage jederzeit sicher erkannt werden.

Produkt-Steckbrief (PDF-Datei)

Der Mapping-Sensor basiert auf der optoelektronischen Micromote-Technologie, die ihren außergewöhnlich kleinen optischen Sensorkopf mit einer externen Auswerteeinheit (Verstärker) kombiniert und über ein hochflexibles Kabel verbindet. So können Sie den Mapping-Sensor wie alle Micromote-Sensoren perfekt an anspruchsvolle mechanische Einbausituationen anpassen. Und nutzen Präzision auf engstem Raum.

Die Besonderheiten

  • sehr kleine Baugröße, extrem flexible Sensorkabe
  • multifunktionaler Sensorkopf
  • flexible Anpassung an jeweilige Anwendung durch externe Verstärkereinheit BAE

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