Spolehlivé snímání polohy při zpracování waferů
Spolehlivé snímání polohy při zpracování waferů

Spol. zpracování waferů – krok za krokem

Naše snímače zajišťují, že wafery během zpracování spolehlivě procházejí jednotlivými citlivými procesními kroky. Díky přesné kontrole přítomnosti, snímání a sledování polohy snímače zajišťují, že wafery plynule procházejí od litografie přes suché leptání až po čištění. Mimořádně malé rozměry umožňují integraci snímačů do robotu. Můžeme tak i malém montážním prostoru zaručit spolehlivou detekci waferů.

Příklady aplikací

  • Kontrola přítomnosti waferů

    Dvě spolehlivé varianty kontroly přítomnosti

    Řešení – varianta 1

    Naše kapacitní snímače BCS mají kompaktní montážní výšku 2,5 mm a průměr 18 mm. Umožňují tak dokonalou integraci. Možnost dálkového seřizování díky samostatnému zesilovači.

    Speciální charakteristiky

    • velmi kompaktní montážní výška 2,5 mm, průměr 18 mm
    • pružné třížilové připojovací kabely
    • ocelový kotouč, aktivní plocha z PTFE
    • jednoduché dálkové seřizování díky externímu zesilovači

    Řešení – varianta 2

    Naše optoelektronické snímače BOH mají mimořádně kompaktní montážní výšku pouhých 1,7 mm. Lze je dokonale integrovat. A lze je jednoduše jemně seřídit pomocí samostatného zesilovače.

    Speciální charakteristiky

    • velmi kompaktní montážní výška 2,5 mm, průměr 18 mm
    • pružné třížilové připojovací kabely
    • ocelové pouzdro
    • infračervené světlo
    • vhodné pro podtlakové aplikace
    • jednoduché dálkové seřizování díky externímu zesilovači
    Kontrola přítomnosti waferů
    Najít vhodné výrobky Ke stažení

    Průmyslový tým

    Máte dotazy nebo chcete poradit? Náš průmyslový tým se těší na váš dotaz.

  • Detekce waferů integrovaná v koncovém výkonném prvku

    Velmi přesná detekce přesným světelným bodem

    Řešení

    Naše optoelektronické snímače BOH jsou integrované do koncového výkonného prvku a zaručují velmi přesnou detekci waferů. To zajišťuje především světelná závora s mikrooptikou a mimořádně přesný světelný bod.

    Speciální charakteristiky

    • světelná závora s mikrooptikou
    • mimořádně přesný světelný bod
    • velmi pružné, extrémně zatížitelné kabely snímačů
    Detekce waferů integrovaná v koncovém výkonném prvku
    Najít vhodné výrobky Ke stažení

    Průmyslový tým

    Máte dotazy nebo chcete poradit? Náš průmyslový tým se těší na váš dotaz.

  • Lineární snímání polohy

    Měření s maximální přesností a rychlostí

    Řešení

    Pro lineární snímání polohy jsou dokonalým řešením naše magneticky kódované systémy pro měření dráhy a úhlu BML: Měřicí systém měří velmi přesně a rychle, s rozlišením do 1 μm a systémovou přesností ±7 μm. Systém pracuje bezdotykově, a proto zcela bez opotřebení.

    Speciální charakteristiky

    • maximální přesnost (rozlišení do 1 μm) a rychlost
    • systémová přesnost ±7 μm
    • bez opotřebení díky bezdotykovému principu funkce
    • vhodný pro dráhy s délkou až 48 m
    Maximální přesnost a rychlost při obrábění waferů
    Najít vhodné výrobky Ke stažení

    Průmyslový tým

    Máte dotazy nebo chcete poradit? Náš průmyslový tým se těší na váš dotaz.

  • Kontrola přítomnosti FOUP

    Spolehlivá kontrola LED technologií

    Řešení

    Naše optoelektronické snímače BOH jsou vybavené LED technologií a individuálním zaostřením a volitelně jsou k dispozici jako světelná závora nebo difuzní snímač. Díky mimořádně ploché konstrukci šetří místo při integraci do procesního řetězce.

    Speciální charakteristiky

    • LED technologie
    • úspora prostoru díky mimořádně ploché konstrukci
    • individuální zaostření
    • k dispozici jako světelná závora nebo difuzní snímač
    Kontrola přítomnosti FOUP LED technologií
    Najít vhodné výrobky Ke stažení

    Průmyslový tým

    Máte dotazy nebo chcete poradit? Náš průmyslový tým se těší na váš dotaz.

  • Snímání polohy indukčními nízkonapěťovými snímači

    Spolehlivé snímání snímači NAMUR

    Řešení

    V případě našich indukčních snímačů NAMUR BES jdete při obrábění waferů najisto: Snímač sleduje doporučení NAMUR a spolehlivě detekuje přerušení kabelu a zkrat. Díky malému odběru proudu se jen minimálně ohřívá. Proto ho lze bez problémů používat nepřetržitě.

    Speciální charakteristiky

    • minimální ohřev díky malému odběru proudu
    • nepřetržité použití
    • detekuje přerušení kabelu a zkrat
    • konstrukční velikosti D4, D6,5, M5, M8 a 5×5
    Spolehlivé snímání snímači NAMUR při zpracování waferů
    Najít vhodné výrobky Ke stažení

    Průmyslový tým

    Máte dotazy nebo chcete poradit? Náš průmyslový tým se těší na váš dotaz.