Detekce přítomnosti a polohy waferů „on Blade“

Detekce přítomnosti a polohy waferů „on Blade“

Dvě alternativní referenční světelné závory pro systémy Load-Lock

Řešení

Naše optoelektronické snímače BOH spolehlivě zjišťují přítomnost a polohu waferů „on Blade“. Bez oblasti necitlivosti. Jejich ultraplochá montážní výška umožňuje prostorově úspornou integraci do vašeho systému.

Speciální charakteristiky

  • úspora prostoru díky ultraploché konstrukci (1,7 mm)
  • bez oblasti necitlivosti
  • kabely PTFE optimalizované z hlediska vývinu plynu
  • jednoduché dálkové seřizování díky externímu zesilovači
Detekce přítomnosti a polohy waferů „on Blade“
Ke stažení
Průmyslový tým
Máte dotazy nebo chcete poradit? Náš průmyslový tým se těší na váš dotaz.