Středění waferů v podtlakovém kanálu

Středění waferů v podtlakovém kanálu

Dvě alternativní referenční světelné závory pro systémy Load-Lock

Řešení – varianta 1

Jednou variantou pro použití referenční světelné závory ke středění waferů jsou naše optoelektronické snímače BOH. Jsou k dispozici ve šroubovacím provedení v robustním ocelovém pouzdře s těsnicí funkcí a prostřednictvím mikrooptiky pracují s malým světelným bodem. Jemné seřizování můžete pohodlně provádět pomocí externího zesilovače.

Speciální charakteristiky

  • šroubovací provedení
  • robustní ocelové pouzdro s těsnicí funkcí
  • mikrooptika s malým světelným bodem
  • pro podtlakové aplikace až 1 × 10-9 mbar
  • jednoduché dálkové seřizování díky externímu zesilovači

Řešení – varianta 2

Alternativně jsou k dispozici naše difuzní snímače nebo jednocestné světelné závory BOH s integrovanou mikrooptikou, které rádi přizpůsobíme podle vašich individuálních požadavků.

Speciální charakteristiky

  • integrovaná mikrooptika pro individuální rámec
  • pro podtlakové aplikace až 1 × 10-9 mbar
Referenční světelná závora pro středění waferů v podtlakovém kanálu (Load-Lock)
Ke stažení
Průmyslový tým
Máte dotazy nebo chcete poradit? Náš průmyslový tým se těší na váš dotaz.