Anwesenheitskontrolle durch Gehäusekanal an der Vakuumkammer

Anwesenheitskontrolle durch Gehäusekanal an der Vakuumkammer

Zuverlässige Wafer-Erkennung auch bei extremer Enge

Die Lösung

Optoelektronische Sensoren BOH von Balluff ermöglichen selbst durch den engen Gehäusekanal an der Vakuumkammer eine zuverlässige Anwesenheitskontrolle der Wafer. Sie verfügen über Mikrooptiken mit kleinem Lichtpunkt. Die Dichtfunktion setzen wir nach Ihren individuellen Designvorgaben um.

Die Besonderheiten

  • Mikrooptiken mit kleinem Lichtpunkt
  • robustes Edelstahlgehäuse mit Dichtfunktion nach individuellen Designvorgaben
  • für Vakuumanwendungen bis 1x10-9 mbar
  • einfache Fernjustage durch externen Verstärker
Zuverlässige Wafer-Erkennung auch bei extremer Enge
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