Anwesenheits- und Positionserkennung von Wafern „on Blade“

Anwesenheits- und Positionserkennung von Wafern „on Blade“

Zwei alternative Referenzlichtschranken für Load-Lock-Systeme

Die Lösung

Unsere optoelektronischen Sensoren BOH erkennen zuverlässig die Anwesenheit und Position der Wafer „on Blade“. Und zwar ohne Totbereich. Ihre ultraflache Einbauhöhe ermöglicht die platzsparende Integration in Ihr System.

Die Besonderheiten

  • platzsparend durch ultraflache Bauhöhe (1,7 mm)
  • kein Totbereich
  • ausgasungsoptimierte PTFE-Kabel
  • einfache Fernjustage durch externen Verstärker
Anwesenheits- und Positionserkennung von Wafern „on Blade“
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