Wafer-Zentrierung in der Vakuumschleuse

Wafer-Zentrierung in der Vakuumschleuse

Zwei alternative Referenzlichtschranken für Load-Lock-Systeme

Die Lösung – Variante 1

Eine Variante für die Umsetzung einer Referenzlichtschranke zur Wafer-Zentrierung bieten unsere optoelektronischen Sensoren BOH. Sie sind als Einschraub-Ausführung in robustem Edelstahlgehäuse mit Dichtfunktion verfügbar und arbeiten über Mikrooptiken mit kleinem Lichtpunkt. Die Feinjustierung können Sie komfortabel über einen externen Verstärker vornehmen.

Die Besonderheiten

  • Einschraub-Ausführung
  • robustes Edelstahlgehäuse mit Dichtfunktion
  • Mikrooptiken mit kleinem Lichtpunkt
  • für Vakuumanwendungen bis 1x10-9 mbar
  • einfache Fernjustage durch externen Verstärker

Die Lösung – Variante 2

Alternativ stehen Ihnen unsere Lichttaster oder Einweglichtschranken BOH mit integrierter Mikrooptik zur Verfügung, die wir gerne auf Ihre individuellen Anforderungen anpassen.

Die Besonderheiten

  • integrierte Mikrooptik für Ihren individuellen Rahmen
  • für Vakuumanwendungen bis 1x10-9 mbar
Referenzlichtschranke zur Wafer-Zentrierung in der Vakuumschleuse (Load-Lock)
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> Lösungen für die Halbleiterindustrie (PDF-Datei)
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