Wafer-Mapping integriert im Endeffektor

Wafer-Mapping integriert im Endeffektor

Hochpräzise Erkennung durch exakten Lichtpunkt

Die Lösung

Unsere optoelektronischen Sensoren BOH werden direkt im Endeffektor integriert und gewährleisten hier eine hochpräzise Wafer-Erkennung. Dafür sorgen vor allem die Lichtschranke mit Mikrooptik sowie der besonders exakte Lichtpunkt.

Die Besonderheiten

  • Lichtschranke mit Mikrooptik
  • besonders exakter Lichtpunkt
  • hochflexible, extrem belastbare Sensorkabel
Wafer-Erkennung integriert im Endeffektor
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