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Zur Unterstützung der Prozesssicherheit

Zur Unterstützung der Prozesssicherheit

Sensoren von Balluff bieten Ihnen durch außergewöhnliche Konstruktionsmerkmale die Möglichkeit, sie im Vakuum direkt einzusetzen. Beispielsweise, wenn der Wafer beim Alignment on the fly in der Vakuumschleuse zentriert wird, oder auch, wenn seine Anwesenheit kontrolliert werden soll.

So verfügen Sie bei uns über Einschraub-Ausführungen mit Dichtfunktion sowie über Sensoren zur Installation direkt im Hochvakuum. Deren Signale werden über elektrische Leitungen via Kabeldurchführung sicher herausgeführt. Ganz besonders interessant dabei: Da wir für den Sensor ausgasungsoptimierte Materialien verwenden, ist Ihr Prozess nach wie vor gesichert. Zusätzlich fertigen wir auf Ihren Wunsch die Sensoren auch in den von Ihnen vorgegebenen Materialien.

Applikationsbeispiele

Wafer zentrieren
Wafer-Anwesenheit erkennen
Wafer-Anwesenheit prüfen