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Zuverlässig agieren in chemischer Umgebung

Zuverlässig agieren in chemischer Umgebung

Um die besonderen Anforderungen bei der Halbleiterfertigung zu erfüllen, erhalten Sie bei Balluff optimale Lösungen für Prozesse in der Nasschemie. Spezielle PTFE-Gehäuse ermöglichen Ihnen die zuverlässige Füllstandskontrolle – wie beim Ätzen, beim Reinigen der Wafer oder dem Belacken und Entwickeln in der Lithographie. Dass dabei auch die Prozess­temperatur stimmt, ist Sache unserer Temperatursensoren. Denn mit den berührenden Sensoren über­wachen Sie die Temperaturen beim Wafer-Processing zuverlässig.

Mit unserer Sensorik kontrollieren Sie auch den Ventilhub, sodass Sie in der Deposition homogene und ideale Schichten erzeugen können.

Applikationsbeispiele

Füllstände durch Behälterwand berührungslos detektieren
Füllstände berührungslos an Bypassrohren kontrollieren
Prozessflüssigkeiten medienberührend erfassen
Füllstand kontinuierlich berührungslos erfassen
Leckage direkt überwachen
Wafer-Temperatur bei jedem Prozessschritt einhalten
Durchflussventile zuverlässig kontrollieren