Control de presencia a través del canal de carcasa en la cámara de vacío

Detección de obleas incluso en espacios muy reducidos

Solución

Los sensores optoelectrónicos BOH de Balluff permiten un control de presencia fiable de las obleas incluso a través del estrecho canal en la cámara de vacío. Disponen de microópticas con un punto de luz pequeño. Es posible personalizar la característica de estanqueidad según sus especificaciones de diseño.

Características

  • Microópticas con punto de luz pequeño
  • Robusta carcasa de acero fino con estanqueidad al agua según sus especificaciones de diseño personales
  • Para aplicaciones de vacío de hasta 1x10-9 mbar
  • Sencillo ajuste a distancia con un amplificador externo
Detección de obleas incluso en espacios muy reducidos
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