Detección de presencia y posición de obleas "on Blade"

Dos barreras fotoeléctricas de referencia alternativas para sistemas "Load-Lock"

Solución

Nuestros sensores optoelectrónicos BOH detectan de forma fiable la presencia y posición de las obleas "on Blade". Y todo ello sin ninguna zona muerta. Su altura de montaje extremadamente plana permite la integración en un mínimo de espacio dentro de su sistema.

Características

  • Requiere un espacio mínimo gracias a su altura constructiva extremadamente plana (1,7 mm)
  • Sin ninguna zona muerta
  • Cable de PTFE optimizado para desgasificación
  • Sencillo ajuste a distancia con un amplificador externo
Detección de presencia y posición de plaquitas "on Blade"
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