Centraje de obleas en la esclusa de vacío

Dos barreras fotoeléctricas de referencia alternativas para sistemas "Load-Lock

Solución: variante 1

Nuestros sensores optoelectrónicos BOH ofrecen una variante para la realización de una barrera fotoeléctrica de referencia para el centraje de plaquitas. Están disponibles como versión con rosca y una robusta carcasa de acero fino sellada, y funcionan con un pequeño punto de luz a través de microópticas. Puede efectuar el ajuste de precisión cómodamente con el amplificador externo.

Características

  • Versión con rosca
  • Robusta carcasa de acero fino sellada
  • Sencillo ajuste a distancia con un amplificador externo
  • Microópticas con punto de luz pequeño
  • Para aplicaciones de vacío de hasta 1x10-9 mbar

Solución: variante 2

Como alternativa, tiene a su disposición nuestros detectores fotoeléctricos o nuestras barreras fotoeléctricas unidireccionales BOH con la microóptica integrada que podemos adaptar según sus exigencias.

Características

  • Microóptica integrada para su aplicación personalizada
  • Para aplicaciones de vacío de hasta 1x10-9 mbar
Barrera fotoeléctrica de referencia para el centraje de plaquitas en la esclusa de vacío ("Load-Lock")
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