Actuar de forma fiable en entornos químicos
Actuar de forma fiable en entornos químicos

Actuar de forma fiable en entornos químicos

Balluff le proporciona soluciones óptimas para los procesos en los procesos químicos húmedos para cumplir los requisitos especiales en la producción de semiconductores. Unas carcasas de PTFE especiales le facilitan una verificación fiable del nivel de llenado, por ejemplo, durante el grabado, la limpieza de las plaquitas o la pintura y el desarrollo en la litografía. Nuestros sensores de temperatura se encargan de que la temperatura de proceso siempre sea la correcta. Nuestros sensores de contacto le permiten monitorizar de forma fiable las temperaturas durante el procesamiento de plaquitas.

Estos sensores también se encargan de controlar la elevación de válvula de tal modo que pueda generar capas homogéneas e ideales durante la deposición.

Ejemplos de aplicación

  • Detectar sin contacto niveles de llenado a través de la pared de recipiente

    Detectar sin contacto niveles de llenado a través de la pared de recipiente

    La solución

    Consiga en sus procesos químicos húmedos una cadena de proceso ininterrumpida garantizando el nivel de llenado ideal de depósitos de ácidos, lejías y agua ultrapura gracias a nuestros sensores capacitivos. Estos detectan el nivel de llenado de forma fiable a través de paredes de vidrio y plástico con un espesor de hasta 10 mm. Para medios de alta conductividad como, por ejemplo, ácidos, puede utilizar nuestros sensores capacitivos de gama alta que además suprimen espuma y adhesión.

    Características

      • Para ácidos, lejías, agua ultrapura y lodo
      • Sin derivaciones
      Detectar sin contacto niveles de llenado a través de la pared de recipiente
      Encontrar los productos apropiados Descarga

      Equipo industrial

      ¿Tiene alguna pregunta o desea que le asesoremos? Nuestro equipo industrial estará encantado de recibir su consulta.

    • Controlar sin contacto niveles de llenado en tubos de derivación

      Controlar sin contacto niveles de llenado en tubos de derivación

      La solución

      El control de los niveles de llenado con ayuda de tubos de derivación permite evitar un derrame de los depósitos con contenido químico agresivo o que se produzca un nivel de llenado insuficiente. Para ello puede montar nuestros sensores capacitivos compactos con sujetacables en el tubo de derivación. Esta solución es sencilla y económica. Para la compensación de espuma y adhesión le facilitamos variantes de gama alta que detectan con seguridad los medios de alta conductividad como, por ejemplo, lejías.

      Características

      • Para ácidos, lejías, agua ultrapura y lodo
      • Compensación de espuma y adhesión con tecnología Smart Level
      Controlar sin contacto niveles de llenado en tubos de derivación
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      Equipo industrial

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    • Detectar líquidos de proceso con contacto con el medio

      Detectar líquidos de proceso con contacto con el medio

      La solución

      Si la pared de recipiente no permite la detección desde el exterior, entonces nuestros sensores capacitivos con su carcasa de PTFE son la mejor elección. Estos son capaces de detectar el nivel de llenado de medios altamente conductivos como ácidos y lejías directamente en el líquido de proceso. Gracias a ello se puede comenzar según la planificación, por ejemplo, el grabado o la aplicación de una resistencia, el desarrollo después de la litografía o el pulido químico-mecánico y la limpieza de la plaquita.

      Características

      • Alta resistencia química gracias a la carcasa de PTFE
      • Para ácidos, lejías, agua ultrapura y lodo
      • Compensación de espuma y adhesión con tecnología Smart Level
      Detectar líquidos de proceso con contacto con el medio
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      Equipo industrial

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    • Detección continua del nivel de llenado sin contacto

      Detección continua del nivel de llenado sin contacto

      La solución

      ¿Quiere saber en todo momento dónde se encuentra el nivel de llenado? Ningún problema para nuestras cabezas de sensor capacitivas autoadhesivas con amplificador: Los niveles de llenado se pueden detectar de forma permanente de tal modo que un solo sensor le basta para detectar cualquier exceso del valor mínimo o máximo en todo el rango. Lo que resulta muy práctico, es lo siguiente: Puede cortar a medida la cabeza del sensor polivalente y pegarla sencillamente a la pared del recipiente.

      Características

      • Medir de forma permanente y control total del nivel mínimo y máximo
      • Superficie adhesiva integrada
      • Gran zona de captación entre 108 y 850 mm
      Detección continua del nivel de llenado sin contacto
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      Equipo industrial

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    • Monitorizar fugas directamente

      Monitorizar fugas directamente

      La solución

      Nuestros sensores capacitivos extremadamente compactos le garantizan que se detectan con seguridad hasta los volúmenes de fuga más pequeños. El soporte suministrado sirve para fijar el sensor a una distancia de 2 mm en el fondo de una herramienta y después solo necesita realizar el ajuste correspondiente. En un caso de un derrame de sustancias químicas agresivas como ácido fluorhídrico, pueden introducirse inmediatamente las correspondientes medidas.

      Características

      • Montaje sencillo con el soporte suministrado
      • Detectar incluso las cantidades de fuga más pequeñas
      • Detección fiable de diferentes sustancias químicas
      Monitorizar fugas directamente
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      Equipo industrial

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    • Cumplir la temperatura de la plaquita en cada paso del proceso

      Cumplir la temperatura de la plaquita en cada paso del proceso

      La solución

      Nuestros sensores de temperatura con contacto con el medio la ayudan a cumplir el grado térmico de sus medios de proceso en procesos con control de temperatura. Y todo ello en medios líquidos o gaseosos. En este proceso puede controlar estados críticos de proceso como temperatura límite o incluso monitorizar valores de temperatura de forma permanente. Sea el uso por que se decida, en cualquier caso estos sensores ayudan a mejorar la seguridad de procesos.

      Características

      • Montaje sencillo gracias a la función de enroscar
      • Medir la temperatura directamente en medios líquidos o gaseosos
      • Diseños compactos
      Cumplir la temperatura de la plaquita en cada paso del proceso
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    • Controlar de forma fiable las válvulas de caudal

      Controlar de forma fiable las válvulas de caudal

      La solución

      Si el paso periódico de un medio hacia la cámara de proceso es controlado por una válvula, usted debería poder fiarse de la válvula. El paso al final contribuye a mantener el proceso de alta calidad. Nuestros sensores inductivos le permiten monitorizar la válvula. Estos sensores son tan robustos y están disponibles con diseños tan compactos como M5 por lo que incluso es posible integrarlos en la válvula. Para una gran fiabilidad.

      Características

      • Buena integración gracias a los diseños compactos
      • El LED aparece visible en la esquina trasera del sensor después del montaje
      • No se requiere ningún amplificador externo
      Controlar de forma fiable las válvulas de caudal
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