Soluciones de sensores altamente precisas para la aplicación en vacío
Soluciones de sensores altamente precisas para la aplicación en vacío

Soluciones altamente precisas para aplicaciones en vacío

Para el empleo directo en vacío estéril, ultra estéril y puro se precisan sensores con unas características constructivas específicas. Para ello ofrecemos versiones para roscar con función de impermeabilización, así como sensores optoelectrónicos altamente precisos para la instalación en el vacío elevado. Las señales salen de la cámara de vacío a través de un pasamuros estanco.

Ejemplos de aplicación

  • Centraje de obleas en la esclusa de vacío

    Dos barreras fotoeléctricas de referencia alternativas para sistemas "Load-Lock

    Solución: variante 1

    Nuestros sensores optoelectrónicos BOH ofrecen una variante para la realización de una barrera fotoeléctrica de referencia para el centraje de plaquitas. Están disponibles como versión con rosca y una robusta carcasa de acero fino sellada, y funcionan con un pequeño punto de luz a través de microópticas. Puede efectuar el ajuste de precisión cómodamente con el amplificador externo.

    Características

    • Versión con rosca
    • Robusta carcasa de acero fino sellada
    • Sencillo ajuste a distancia con un amplificador externo
    • Microópticas con punto de luz pequeño
    • Para aplicaciones de vacío de hasta 1x10-9 mbar

    Solución: variante 2

    Como alternativa, tiene a su disposición nuestros detectores fotoeléctricos o nuestras barreras fotoeléctricas unidireccionales BOH con la microóptica integrada que podemos adaptar según sus exigencias.

    Características

    • Microóptica integrada para su aplicación personalizada
    • Para aplicaciones de vacío de hasta 1x10-9 mbar
    Barrera fotoeléctrica de referencia para el centraje de plaquitas en la esclusa de vacío ("Load-Lock")
    Encontrar los productos apropiados Descarga

    Equipo industrial

    ¿Tiene alguna pregunta o desea que le asesoremos? Nuestro equipo industrial estará encantado de recibir su consulta.

  • Detección de presencia y posición de obleas "on Blade"

    Dos barreras fotoeléctricas de referencia alternativas para sistemas "Load-Lock"

    Solución

    Nuestros sensores optoelectrónicos BOH detectan de forma fiable la presencia y posición de las obleas "on Blade". Y todo ello sin ninguna zona muerta. Su altura de montaje extremadamente plana permite la integración en un mínimo de espacio dentro de su sistema.

    Características

    • Requiere un espacio mínimo gracias a su altura constructiva extremadamente plana (1,7 mm)
    • Sin ninguna zona muerta
    • Cable de PTFE optimizado para desgasificación
    • Sencillo ajuste a distancia con un amplificador externo
    Detección de presencia y posición de plaquitas "on Blade"
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    Equipo industrial

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  • Control de presencia a través del canal de carcasa en la cámara de vacío

    Detección de obleas incluso en espacios muy reducidos

    Solución

    Los sensores optoelectrónicos BOH de Balluff permiten un control de presencia fiable de las obleas incluso a través del estrecho canal en la cámara de vacío. Disponen de microópticas con un punto de luz pequeño. Es posible personalizar la característica de estanqueidad según sus especificaciones de diseño.

    Características

    • Microópticas con punto de luz pequeño
    • Robusta carcasa de acero fino con estanqueidad al agua según sus especificaciones de diseño personales
    • Para aplicaciones de vacío de hasta 1x10-9 mbar
    • Sencillo ajuste a distancia con un amplificador externo
    Detección de obleas incluso en espacios muy reducidos
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    Equipo industrial

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