Detección de posición fiable en el procesamiento de plaquitas
Detección de posición fiable en el procesamiento de plaquitas

Proceso seguro de obleas: paso a paso

Nuestros sensores aseguran el transporte fiable de las obleas durante su procesamiento por cada uno de los sensibles pasos de proceso. Con un exacto control de presencia, exploración de posición y detección de posición, estos sensores aseguran que las plaquitas lleguen sin ningún problema desde la litografía, pasando por el grabado en seco hasta la limpieza. Los diseños especialmente compactos permiten también la integración de los sensores en robots. De este modo podemos garantizar una detección fiable de las obleas incluso en caso de que el espacio de montaje sea muy reducido.

Ejemplos de aplicación

  • Control de presencia de obleas

    Existen dos variantes fiables para el control de presencia

    Solución: variante 1

    Nuestros sensores capacitivos BCS disponen de una altura de montaje muy compacta de tan solo 2,5 mm y un diámetro de 18 mm, lo que permite una perfecta integración. Un ajuste a distancia es posible con el amplificador por separado.

    Características

    • Altura de montaje muy compacta (2,5 mm, diámetro 18 mm)
    • Cable de conexión de tres hilos altamente flexible
    • Disco de acero fino, superficie activa de PTFE
    • Sencillo ajuste a distancia con un amplificador externos

    Solución: variante 2

    Nuestros sensores optoelectrónicos BOH disponen de una altura de montaje extremadamente compacta de tan solo 1,7 mm y se pueden integrar perfectamente. Además, su ajuste de precisión se lleva a cabo con un amplificador aparte.

    Características

    • Altura de montaje muy compacta (1,7 mm)
    • Cable de conexión de tres hilos altamente flexible
    • Carcasa de acero fino
    • Luz infrarroja
    • Apto para uso en vacío
    • Sencillo ajuste a distancia con un amplificador externo
    Control de presencia de plaquitas
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    Equipo industrial

    ¿Tiene alguna pregunta o desea que le asesoremos? Nuestro equipo industrial estará encantado de recibir su consulta.

  • Detección de obleas integrada en el efector final

    Detección altamente precisa con un punto de luz exacto

    Solución

    Nuestros sensores optoelectrónicos BOH se integran directamente en el efector final y garantizan aquí una detección de obleas altamente precisa. De ello se encargan sobre todo la barrera fotoeléctrica con microóptica, así como el punto de luz especialmente exacto.

    Características

    • Barrera fotoeléctrica con microóptica
    • Punto de luz especialmente exacto
    • Cable de sensor altamente flexible y extremadamente resistente
    Detección de plaquitas integrada en el efector final
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  • Detección de posición lineal

    Medición con máxima precisión y rapidez

    Solución

    Nuestros encóders magnéticos BML son la solución perfecta para la detección de posición lineal: el sistema de medición mide de forma altamente precisa y rápida, con una resolución de hasta 1 μm y una precisión del sistema de hasta +/–7 μm. El sistema funciona sin contacto por lo que está completamente libre de desgaste.

    Características

    • Máxima precisión (resolución de hasta 1 μm) y rapidez
    • Precisión del sistema hasta +/–7 μm
    • Libre de desgaste ya que el principio de actuación es sin contacto
    • Ideal para carreras de hasta 48 m
    Máxima precisión y rapidez en el procesamiento de plaquitas
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  • Control de presencia FOUP

    Inspección fiable con tecnología LED

    Solución

    Nuestros sensores optoelectrónicos BOH están equipados con tecnología LED y un foco óptico individual, y están disponibles indistintamente como barrera fotoeléctrica o como detector fotoeléctrico. Gracias a su construcción especialmente plana, se pueden integrar en un mínimo de espacio de su cadena de proceso.

    Características

    • Tecnología LED
    • Requiere un espacio mínimo gracias al diseño especialmente plano
    • Foco óptico individual
    • Disponible como barrera fotoeléctrica o detector fotoeléctrico
    Control de presencia FOUP con tecnología LED
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  • Exploración de posición con sensores inductivos de baja tensión

    Exploración fiable con sensores NAMUR

    Solución

    Con nuestros sensores inductivos BES NAMUR puede asegurar la detección en el procesamiento de obleas: el sensor cumple las recomendaciones de NAMUR y avisa de forma fiable cualquier rotura de cable y cortocircuito. Gracias a su bajo consumo de corriente, tan solo genera un calentamiento interno mínimo, lo que permite su empleo continuo sin ningún problema.

    Características

    • Mínimo calentamiento interno gracias al bajo consumo de corriente
    • Posibilidad de empleo continuo
    • Detecta de forma fiable cualquier rotura de cable y cortocircuito
    • Tamaños constructivos D4, D6,5, M5, M8 y 5x5
    Exploración fiable con sensores NAMUR en el procesamiento de plaquitas
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