Contrôle de présence à travers le canal du corps de la chambre à vide

Contrôle de présence à travers le canal du corps de la chambre à vide

Détection fiable des plaquettes de silicium, également dans des conditions étroites extrêmes

La solution

Les capteurs optoélectroniques BOH de Balluff garantissent un contrôle de présence fiable des plaquettes de silicium, même à travers le canal étroit du corps de la chambre à vide. Ils disposent de micro-optiques avec un petit point lumineux. Nous réalisons la fonction d'étanchéité selon vos spécifications de construction individuelles.

Les particularités

  • Micro-optiques avec petit point lumineux
  • Boîtier en acier inoxydable robuste avec fonction d'étanchéité selon vos spécifications de construction individuelles
  • Pour applications sous vide jusqu'à 1x10-9 mbar
  • Ajustage à distance simple par le biais d'un amplificateur externe
Détection fiable des plaquettes de silicium, également dans des conditions étroites extrêmes
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