Détection de présence et de position de plaquettes de silicium "on Blade"

Détection de présence et de position de plaquettes de silicium "on Blade"

Deux barrages optiques de référence alternatifs pour systèmes Load-Lock

La solution

Nos capteurs optoélectroniques BOH détectent de façon fiable la présence et la position des plaquettes de silicium "on Blade". Et ce, sans zone morte. Leur hauteur de montage ultra-plate permet une intégration peu encombrante dans votre système.

Les particularités

  • Peu encombrants, du fait d'une hauteur de construction ultra-plate (1,7 mm)
  • Pas de zone morte
  • Câble PTFE optimisé en termes de dégagement de gaz
  • Ajustage à distance simple par le biais d'un amplificateur externe
Détection de présence et de position de plaquettes de silicium "on Blade"
Téléchargement
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