Centrage des plaquettes de silicium dans le sas sous vide

Centrage des plaquettes de silicium dans le sas sous vide

Deux alternatives de barrages optiques de référence pour systèmes Load-Lock

La solution – variante 1

Nos capteurs optoélectroniques BOH constituent l'une des variantes pour la réalisation d'un barrage optique de référence à des fins de centrage des plaquettes de silicium. Ils sont disponibles en tant que version à visser dans un boîtier en acier inoxydable robuste avec fonction d'étanchéité, et sont pourvus de micro-optiques avec un petit point lumineux. Vous pouvez procéder au réglage fin de façon confortable via un amplificateur externe.

Les particularités

  • Version à visser
  • Boîtier en acier inoxydable robuste avec fonction d'étanchéité
  • Micro-optiques avec petit point lumineux
  • Pour applications sous vide jusqu'à 1x10-9 mbar
  • Ajustage à distance simple par le biais d'un amplificateur externe

La solution – variante 2

Nos détecteurs optiques ou barrages optiques unidirectionnels BOH avec micro-optique intégrée, que nous adaptons volontiers à vos exigences individuelles, sont à votre disposition en guise d'alternative.

Les particularités

  • Micro-optique intégrée pour votre cadre individuel
  • Pour applications sous vide jusqu'à 1x10-9 mbar
Barrage optique de référence pour la détection de plaquettes de silicium dans le sas sous vide (Load-Lock)
Téléchargement
> Solutions for the Semiconductor Industry (PDF file)
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