線性位置偵測

線性位置偵測

測量迅速又極為精準

解決方案

針對線性位置偵測,本公司的 BML 磁編碼式位移及角度測量系統是完美的解決方案:此感測器的偵測非常精準又迅速,其解析度達 1 μm,而感測器準確度則為 +/–7 μm。此感測器以非接觸方式運作,且無耗損之虞。

特點

  • 精準度超高(解析度至 1 μm)並且非常迅速
  • 感測器準確度為 +/–7 μm
  • 無耗損,因為採非接觸式工作原理
  • 適合用於 48 公尺以內的距離
處理晶圓時極為精準又快速
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工業團隊
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