晶圓偵測功能已整合在末端執行器內

晶圓偵測功能已整合在末端執行器內

藉由精準的光點,偵測精確度極高

解決方案

本公司的 BOH 光電感測器是直接整合在末端執行器內,這個位置能確保晶圓偵測極為精準。這主要是依賴採用微光學技術的光柵以及極為準確的光點。

特點

  • 採用微光學技術的光柵
  • 極為準確的光點
  • 極具彈性、可超高負載的感測器電線
晶圓偵測功能已整合在端效器內
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