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適用於真空環境的精密感測器解決方案

適用於真空環境的精密解決方案

若要直接運用在高真空、超真空和超純真空環境,感測器必須具備特殊的結構特性。在這方面的應用,我們提供具備密封功能的旋入式規格以及高精密的光電感測器,以用於安裝於高真空環境。訊號會透過「饋通(Feed-through)」解決方案透過電線的套管從真空室導出。

應用範例

晶圓在真空閘內置中
「on Blade」晶圓的實物偵測和位置偵測
從真空室的外殼通道進行實物偵測