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處理晶圓時的可靠定位掌握

安全的晶圓處理-逐步進行

我們的感測器負責在您的處理過程中讓晶圓安全且穩定地通過重要程序的每個步驟。感測器透過實物偵測、確認位置和定位掌控來確認,晶圓能順利地從光刻程序經乾蝕刻到清潔程序。特別小巧的外型設計能讓感測器與機器人完美整合。因此,即便安裝空間極小,我們也能確保可靠的晶圓偵測作業。

應用範例

晶圓實物偵測
晶圓偵測功能已整合在末端執行器內
線性位置偵測
FOUP 實物偵測
以電感式低壓感測器確認位置