Nagy pontosságú érzékelőmegoldások vákuumban való alkalmazáshoz
Nagy pontosságú érzékelőmegoldások vákuumban való alkalmazáshoz

Nagy pontosságú megoldások vákuumban való alkalmazáshoz

Nagy, ultranagy és extrém nagy vákuumban történő alkalmazáshoz az érzékelőknek rendkívüli szerkezeti jellemzőkel kell rendelkezniük. Erre a célra tömítő funkcióval, valamint nagy pontosságú optoelektronikai érzékelőkkel rendelkező becsavarható kiviteleket ajánlunk nagy vákuumban történő felszerelésre. A jelek „Feed-through“ megoldással, kábelátvezetőn keresztülvezetett elektromos vezetékeken kerülnek ki a vákuumkamrából.

Alkalmazási példák

  • Lapkaközpontosítás a vákuumzsilipben

    Két alternatív referencia fénysorompó Load-Lock rendszerekhez

    A megoldás – 1. változat

    A lapkaközpontosítás referencia fénysorompója megvalósításának egyik változatát BOH optoelektronikai érzékelőink jelentik. Becsavarható kivitelben, robusztus nemesacél házban, tömítő funkcióval kaphatók és kis fényponttal rendelkező mikrooptikával működnek. A finombeállítás kényelmesen, külső erősítővel végezhető el.

    A jellegzetességek

    • becsavarható kivitel
    • robusztus nemesacél ház, tömítő funkcióval
    • kis fényponttal rendelkező mikrooptika
    • vákuumos alkalmazásokhoz 1x10-9 mbar-ig
    • egyszerű távoli beállítás külső erősítővel

    A megoldás – 2. változat

    Alternatívaképpen állnak rendelkezésre beépített mikrooptikával rendelkező BOH tárgyreflexiós érzékelőink vagy egyutas fénysorompóink, amelyeket kívánságra készséggel az Ön egyéni követelményeihez igazítunk.

    A jellegzetességek

    • beépített mikrooptika egyedi keretekhez
    • vákuumos alkalmazásokhoz 1x10-9 mbar-ig
    Referencia fénysorompó lapkaközpontosításhoz a vákuumzsilipben (Load-Lock)
    Megfelelő termékek keresése Letöltés

    Ipari csoport

    Kérdései vannak, vagy tanácsra van szüksége? Ipari csoportunk örömmel áll rendelkezésére.

  • Lapkák jelenlétének és pozíciójának felismerése „on Blade“

    Két alternatív referencia fénysorompó Load-Lock rendszerekhez

    A megoldás

    BOH optoelektronikai érzékelőink megbízhatóan ismerik fel a lapkák jelenlétét és pozícióját „on Blade“. Mégpedig holtzóna nélkül. Az ultralapos beépítési magasság helytakarékos integrálást tesz lehetővé az Ön rendszerébe.

    A jellegzetességek

    • helytakarékos az ultralapos kialakítás révén (1,7 mm)
    • nincs holtzóna
    • kimenetre optimalizált PTFE kábel
    • egyszerű távoli beállítás külső erősítővel
    Lapkák jelenlétének és pozíciójának felismerése „on Blade“
    Megfelelő termékek keresése Letöltés

    Ipari csoport

    Kérdései vannak, vagy tanácsra van szüksége? Ipari csoportunk örömmel áll rendelkezésére.

  • Jelenlét ellenőrzése a ház csatornáján keresztül a vákuumkamrán

    Megbízható lapkafelismerés rendkívül szűk helyeken is

    A megoldás

    A Balluff BOH optoelektronikai érzékelői a ház vákuumkamrán levő szűk csatornáján keresztül is lehetővé teszik a lapkák jelenlétének megbízható ellenőrzését. Kis fényponttal rendelkező mikrooptikával rendelkeznek. A tömítő funkciót az Ön egyéni tervezési elképzeléseinek megfelelően valósítjuk meg.

    A jellegzetességek

    • kis fényponttal rendelkező mikrooptika
    • robusztus nemesacél ház egyéni tervezési elképzelések szerinti tömítő funkcióval
    • vákuumos alkalmazásokhoz 1x10-9 mbar-ig
    • egyszerű távoli beállítás külső erősítővel
    Megbízható lapkafelismerés rendkívül szűk helyeken is
    Megfelelő termékek keresése Letöltés

    Ipari csoport

    Kérdései vannak, vagy tanácsra van szüksége? Ipari csoportunk örömmel áll rendelkezésére.