Controllo di presenza tramite canale della custodia sulla camera del vuoto

Riconoscimento affidabile dei wafer anche in estrema ristrettezza

La soluzione

I sensori optoelettronici BOH Balluff, anche nello stretto canale della custodia sulla camera del vuoto, permettono un affidabile controllo di presenza dei wafer. Dispongono di micro-ottiche a spot piccolo. La funzione sigillante la implementiamo in base alle vostre specifiche di progetto.

Le caratteristiche

  • micro-ottiche a spot piccolo
  • robusta custodia di acciaio con funzione sigillante in base alle specifiche di progetto
  • per applicazioni sottovuoto fino a 1x10-9 mbar
  • pratica regolazione a distanza tramite amplificatore esterno
Riconoscimento affidabile dei wafer anche in estrema ristrettezza
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