Estrema precisione anche tra un passaggio operativo e l'altro
Estrema precisione anche tra un passaggio operativo e l'altro

Estrema precisione anche tra un passaggio operativo e l'altro

Balluff offre la massima precisione per l'handling di wafer nel modulo EFEM, ma anche sull'effettore finale o il pre-allineatore. Perché solo la massima precisione consente di posizionare esattamente i wafer e di gestire in maniera affidabile ogni passaggio di lavorazione.

I nostri sensori e sistemi presentano forme costruttive ridotte, risolvendo così senza problemi l'integrazione complessa nella macchina. Per condizioni particolarmente difficili, dopo tutto ogni terminale è diverso dall'altro, siamo in grado di adattare la nostra tecnica a ogni vostra esigenza.

I principi di misurazione contactless evitano l'abrasione e garantiscono la classe di pulizia della camera bianca nell'intero processo. Approfittate del monitoraggio affidabile nell'handling dei wafer e garantite un processo sicuro.

Esempi di applicazione

  • Rilevare la posizione del robot

    Rilevare la posizione del robot

    La soluzione

    Utilizzate più load-port? Oppure più camere di processo? Coi nostri sistemi di rilevamento di posizione a codifica magnetica e alta precisione potete monitorare i movimenti delle vostre unità robotizzate in maniera affidabile. I sistemi contactless per la misurazione della posizione monitorano continuamente la posizione del robot. A tal fine è possibile accorciare singolarmente il nastro magnetico, così da poter utilizzare facilmente il sistema in moduli dotati di vari load-port.

    Caratteristiche speciali

    • contactless, ovvero senza attrito e separazione
    • impiego flessibile: 48 m di nastro magnetico adattabile alle singole esigenze
    Rilevare la posizione del robot
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    Team riservato all'industria

    Avete domande oppure desiderate una consulenza? Il nostro team riservato all'industria sarà lieto di supportarvi.

  • Monitorare rotaz. robot in maniera affid

    Monitorare la rotazione del robot

    La soluzione

    Per poter posizionare esattamente l'effettore finale del robot, i nostri sistemi di misurazione degli angoli a codifica magnetica rappresentano la soluzione ideale. Essi controllano i movimenti rotativi delle articolazioni robotizzate che trasportano l'effettore finale, portandolo nel suo finecorsa e posando infine il wafer.

    Caratteristiche speciali

    • facilmente integrabile, piccola testa del sensore
    • perfetto per la robotica perché leggero
    • ampia distanza tra sensore e anello: montaggio semplice – funzionamento estremamente sicuro
    Monitorare la rotazione del robot
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  • Disporre il wafer in pre-allineamento

    Disporre il wafer in pre-allineamento

    La soluzione

    Avvicinate i vostri wafer alla camera di processo, perfettamente allineati, posizionandoli esattamente nella fase di pre-allineamento. Per i pre-allineatori ottici vi offriamo una soluzione incredibile: una banda luminosa ad alta risoluzione con una straordinaria omogeneità. Così potete rilevare anche notch e flat e centrare perfettamente il wafer. Inoltre è possibile integrare la nostra banda luminosa sul pre-allineatore.

    Caratteristiche speciali

    • laser a luce rossa molto preciso: alta risoluzione ed elevata omogeneità
    • risoluzione delle singole esigenze grazie alle diverse lunghezze della banda luminosa
    • utilizzo intuitivo
    Disporre il wafer in pre-allineamento
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    Team riservato all'industria

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  • Contr. presenza wafer sull'effett. finale

    Controllare la presenza del wafer sull'effettore finale

    La soluzione

    Grazie alle nostre fotocellule a tasteggio ottiche ad emissione di gas ottimizzata, potete controllare la presenza del wafer sull'effettore finale, in maniera assolutamente affidabile, senza temere crash. Le nostre fotocellule a tasteggio possono essere perfettamente integrate nell'effettore finale, anche quando questo è estremamente sottile perché sono molto piccole, appena 1,7 mm.

    Caratteristiche speciali

    • perfette per l'effettore finale perché estremamente piatte
    • adatte alla clean room: emissione di gas ottimizzata!
    • regolazione semplice
    Controllare la presenza del wafer sull'effettore finale
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  • Contr. presenza wafer sull'effett. finale

    Controllare la presenza del wafer sull'effettore finale

    La soluzione

    Per controllare la presenza del wafer sull'effettore finale potete utilizzare anche i nostri sensori capacitivi con rivestimento in PTFE. Essi rilevano wafer ultra sottili in maniera affidabile, anche quando sono piegati. I sensori sono alti appena 2,5 mm, perciò sono facilmente integrabili negli effettori finali. L'amplificatore esterno consente di eseguire una regolazione semplice.

    Caratteristiche speciali

    • estremamente piatti, solo 2,5 mm
    • adatti anche a diverse superfici, grazie alla custodia in PTFE
    • elevata precisione in uno spazio ridottissimo
    Controllare la presenza del wafer sull'effettore finale
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  • Interr. posiz. wafer sull'effett. finale

    Interrogare la posizione del wafer sull'effettore finale

    La soluzione

    Un altro metodo per determinare la presenza del wafer sull'effettore finale e contemporaneamente rilevarne la posizione esatta, consiste nell'utilizzo di sensori induttivi. I nostri sensori NAMUR a prova di cortocircuito possono essere installati in fila, così da poter interrogare addirittura diverse posizioni. Grazie ai formati disponibili a partire da Ø 4 mm i sensori possono essere integrati naturalmente anche sull'effettore finale.

    Caratteristiche speciali

      • rileva in modo affidabile interruzioni di cavo e cortocircuiti
      • utilizzo personalizzato grazie ai diversi formati disponibili
      • integrabili sull'effettore finale
      Interrogare la posizione del wafer sull'effettore finale
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    • Mappatura sicura del wafer

      Mappatura sicura del wafer

      La soluzione

      Riconoscete i bordi dei wafer spessi qualche µm, in tutta sicurezza. Lo spot luminoso perfettamente controllato e messo a fuoco dei nostri sensori Micromote offre inoltre un'ineguagliabile precisione. Nello stesso tempo i nostri sensori Micromote garantiscono un riconoscimento sicuro degli slot pieni, dei doppi wafer o dei wafer in posizione inclinata, in qualunque momento. Il cavo flessibile e i formati ridotti offrono la massima libertà d'installazione.

      Caratteristiche speciali

      • eccellente precisione in spazzi ridotti, minima apertura angolare
      • adattabili ai più diversi effettori finali
      • sistema modulare, perfetto per il montaggio su particolari strutture meccaniche
      Mappatura sicura del wafer
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    • Tracciamento dei frame di wafer

      Tracciamento dei frame di wafer

      La soluzione

      Assicuratevi un processo trasparente che consenta di tracciare i frame dei wafer utilizzando i nostri sistemi Vision. I frame vengono dotati di codici a barre che i sistemi possono verificare con precisione. In questo modo sapete sempre se un wafer è già stato lucidato e separato.

      Caratteristiche speciali

      • soluzione affidabile per il tracciamento
      • utilizzo semplice e intuitivo
      Tracciamento dei frame di wafer
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