Intervenire in maniera affidabile in ambienti con agenti chimici
Intervenire in maniera affidabile in ambienti con agenti chimici

Intervenire in maniera affidabile in ambienti con agenti chimici

Per soddisfare le esigenze particolari legate alla produzione di semiconduttori rivolgetevi a Balluff: l'azienda offre sempre la soluzione ideale per i processi chimici che utilizzando sostanze liquide. Le speciali custodie in PTFE consentono di controllare il livello di riempimento in maniera affidabile, ad esempio in fase di incisione e pulitura dei wafer o di verniciatura e sviluppo nella litografia. Quando poi anche la temperatura di processo è corretta, è tutto merito dei nostri sensori di temperatura che, a contatto col fluido, monitorano la temperatura in maniera affidabile durante la lavorazione dei wafer.

I nostri sensori consentono di controllare anche l'alzata della valvola in modo da creare strati omogenei e ideali nella deposizione.

Esempi di applicazione

  • Liv. di riemp. contactless attr. parete cont.

    Rilevare i livelli di riempimento contactless attraverso la parete del contenitore

    La soluzione

    Assicurate una perfetta catena produttiva nei processi chimici che utilizzando sostanze liquide, garantendo il livello di riempimento ideale nei serbatoi contenenti acidi, alcali e acqua ultra pura, grazie ai nostri sensori capacitivi. Essi rilevano il livello di riempimento in maniera affidabile in pareti di vetro o plastica con spessore fino a 10 mm. Per i fluidi altamente conduttivi, come ad esempio gli acidi, utilizzate i nostri sensori capacitivi high end che compensano anche schiuma e aderenze.

    Caratteristiche speciali

      • per acidi, alcali, acqua ultra pura e slurry
      • senza bypass
      Rilevare i livelli di riempimento contactless attraverso la parete del contenitore
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      Team riservato all'industria

      Avete domande oppure desiderate una consulenza? Il nostro team riservato all'industria sarà lieto di supportarvi.

    • Liv. di riemp. contactless in tubi bypass

      Controllare i livelli di riempimento contactless nei tubi bypass

      La soluzione

      Potete evitare la fuoriuscita dal serbatoio di agenti chimici aggressivi o un livello di riempimento insufficiente controllando quest'ultimo con tubi bypass. Montate i nostri sensori capacitivi compatti al tubo bypass servendovi di fascette. L'operazione è economica e semplice. Per compensare schiuma e aderenze esistono anche le varianti high end che rilevano con sicurezza i fluidi altamente conduttivi, come gli alcali.

      Caratteristiche speciali

      • per acidi, alcali, acqua ultra pura e slurry
      • Compensazione di schiuma e aderenze grazie alla tecnologia Smart Level
      Controllare i livelli di riempimento contactless nei tubi bypass
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      Team riservato all'industria

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    • Liquidi di processo a contatto fluido

      Rilevare i liquidi di processo a contatto fluido

      La soluzione

      Quando la parete del contenitore non consente di fare rilevamenti dall'esterno, i nostri sensori capacitivi con rivestimento in PTFE diventano la scelta più azzeccata. Essi rilevano il livello di riempimento di fluidi altamente conduttivi, come acidi e alcali, direttamente nel liquido di processo. Ciò consente di avviare, come programmato, ad esempio l'incisione o l'applicazione di una resistenza, lo sviluppo dopo la litografia o la lucidatura chimico-meccanica e la pulitura del wafer.

      Caratteristiche speciali

      • elevata resistenza chimica grazie alla custodia in PTFE
      • per acidi, alcali, acqua ultra pura e slurry
      • Compensazione di schiuma e aderenze grazie alla tecnologia Smart Level
      Rilevare i liquidi di processo a contatto con il fluido
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    • Liv. di riemp. liquido continuamente contactless

      Rilevare il livello di riempimento continuamente senza contatto

      La soluzione

      Volete sapere sempre a che punto è il livello di riempimento? Nessun problema con le nostre teste di sensore capacitivo autoadesive dotate di amplificatore: È possibile rilevare in continuo i livelli di riempimento e riconoscere così con un solo sensore un superamento di valore minimo o massimo, nonché i livelli di riempimento nell'intero campo di misurazione. Piuttosto pratico perché: potete adattare la testa del sensore flessibile tagliandola e incollandola semplicemente alla parete del contenitore.

      Caratteristiche speciali

      • misurazione continua e livello di riempimento minimo e massimo sempre sott'occhio
      • superficie adesiva integrata
      • ampio campo di misurazione da 108 a 850 mm
      Rilevare il livello di riempimento continuamente senza contatto
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    • Monitorare direttamente le perdite

      Monitorare direttamente le perdite

      La soluzione

      I nostri sensori capacitivi super compatti garantiscono il rilevamento sicuro anche delle più piccole perdite. Il supporto in dotazione consente di fissare il sensore a 2 mm di distanza sulla base di un utensile; basterà solo regolarlo. In caso di perdite, ad esempio di agenti chimici aggressivi come gli acidi, è possibile approntare subito le contromisure necessarie.

      Caratteristiche speciali

      • montaggio semplice grazie al supporto in dotazione
      • riconoscere anche le più piccole perdite
      • rilevamento affidabile di diversi agenti chimici
      Monitorare direttamente le perdite
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    • Temperatura del wafer in ogni passaggio

      Mantenere la temperatura del wafer in ogni passaggio operativo

      La soluzione

      I nostri sensori di temperatura a contatto fluido aiutano a mantenere il grado di calore dei vostri fluidi in processi a temperatura controllata e direttamente in fluidi allo stato liquido o gassoso. In questo modo potete controllare condizioni critiche di processo come le temperature limite o monitorare di continuo i valori di temperatura. A prescindere dall'utilizzo che ne vogliate fare, i sensori contribuiscono comunque alla sicurezza di processo.

      Caratteristiche speciali

      • montaggio semplice grazie all'avvitatura
      • misurazione della temperatura direttamente in fluidi allo stato liquido o gassoso
      • formati compatti
      Mantenere la temperatura del wafer in ogni passaggio operativo
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      Team riservato all'industria

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    • Controll. valvole interc. in maniera affidabile

      Controllare le valvole di intercettazione in maniera affidabile

      La soluzione

      Quando il flusso regolare di un fluido nella camera di processo viene controllato da una valvola, questa deve essere completamente affidabile. Dopo tutto il flusso contribuisce a mantenere valido il processo. Monitorate la valvola utilizzando i nostri sensori induttivi, robusti e così piccoli (disponibili in formato M5) da poter essere integrati facilmente nella valvola stessa. Per la massima affidabilità.

      Caratteristiche speciali

      • facilmente integrabile grazie ai formati ridotti
      • LED visibile dopo l'installazione, sull'estremità posteriore del sensore
      • non è necessario un amplificatore esterno
      Controllare le valvole di intercettazione in maniera affidabile
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