Rilevamento affidabile della posizione nella lavorazione dei wafer
Rilevamento affidabile della posizione nella lavorazione dei wafer

Lavorazione wafer sicura – passo dopo passo

I nostri sensori assicurano che i wafer, durante la loro lavorazione, vengano trasportati in modo affidabile attraverso ciascuna delle sensibili fasi del processo. Con esatto controllo di presenza, interrogazione e rilevamento della posizione, i sensori garantiscono che i wafer giungano agevolmente dalla litografia alla pulitura, attraverso l'incisione a secco. Strutture particolarmente compatte permettono anche l'integrazione dei sensori nei robot: in questo modo possiamo garantire un riconoscimento affidabile dei wafer anche quando lo spazio di montaggio è limitato.

Esempi di applicazione

  • Controllo di presenza dei wafer

    Due affidabili versioni per il controllo di presenza

    La soluzione – Versione 1

    I nostri sensori capacitivi BCS dispongono di un'altezza di installazione molto compatta di 2,5 mm con un diametro di 18 mm. Sono quindi facilmente integrabili. È possibile una regolazione a lunga distanza tramite un amplificatore separato.

    Le caratteristiche

    • altezza di installazione molto compatta (2,5 mm, diametro 18 mm)
    • linea di collegamento tripolare estremamente flessibile
    • piastra in acciaio, superficie attiva in PTFE
    • pratica regolazione a lunga distanza tramite amplificatore esterno

    La soluzione – Versione 2

    I nostri sensori optoelettronici BOH dispongono di un'altezza di installazione estremamente compatta di soli 1,7 mm. Sono perfettamente integrabili. E, tramite un amplificatore separato, si possono facilmente regolare anchea distanza.

    Le particolarità

    • altezza di installazione molto compatta (2,5 mm, diametro 18 mm)
    • linea di collegamento tripolare estremamente flessibile
    • custodia in acciaio inossidabile
    • luce infrarossa
    • adatti per il vuoto
    • pratica regolazione a distanza tramite amplificatore esterno
    Controllo di presenza dei wafer
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    Industry Team

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  • Riconoscimento wafer integrato con effettore finale

    Riconoscimento estremamente preciso tramite uno spot preciso

    La soluzione

    I nostri sensori optoelettronici BOH vengono integrati direttamente nell'effettore finale e qui garantiscono un riconoscimento ultrapreciso dei wafer. Grazie soprattutto alla fotocellula con micro-ottica nonché al punto luce particolarmente preciso.

    Le caratteristiche

    • fotocellula con micro-ottica
    • spot estremamente preciso
    • cavo del sensore estremamente flessibile e resistente a forti torsioni
    Riconoscimento wafer integrato con effettore finale
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  • Rilevamento di posizione lineare

    Misurazione con massima precisione e rapidità

    La soluzione

    Per il rilevamento di posizione lineare, i nostri encoder di corsa ed encoder angolari BML sono la soluzione perfetta: il sistema misura in modo altamente preciso e rapido, con una risoluzione fino a 1 μm e una precisione fino a +/–7 μm. Il sistema lavora senza contatto ed è quindi totalmente privo di usura.

    Le caratteristiche

    • massima precisione (risoluzione fino a 1 μm) e rapidità
    • precisione di sistema fino a +/–7 μm
    • senza usura grazie al principio di funzionamento senza contatto
    • per percorsi fino a 48 m
    Massima precisione e rapidità nella lavorazione dei wafer
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  • Controllo di presenza FOUP

    Controllo affidabile con tecnologia LED

    La soluzione

    I nostri sensori optoelettronici BOH sono dotati di tecnologia LED nonché fuoco individuale e, a scelta, sono disponibili a sbarramento o a tasteggio diretto. Grazie alla loro speciale struttura piatta, potete integrarli nella vostra catena di processo e risparmiare spazio.

    Le caratteristiche

    • tecnologia LED
    • di poco ingombro grazie alla struttura particolarmente piatta
    • fuoco individuale
    • disponibili a sbarramento o a tasteggio diretto
    Controllo di presenza FOUP con tecnologia LED
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  • Rilevamento di posizione con sensori induttivi a bassa tensione

    Rilevamento affidabile con sensori NAMUR

    La soluzione

    Con i nostri sensori induttivi NAMUR BES andate sul sicuro nella lavorazione dei wafer: il sensore si basa sulle raccomandazioni NAMUR e riconosce in modo affidabile rotture di cavi e cortocircuiti. Grazie al suo basso consumo energetico, genera solo un minimo autoriscaldamento: di conseguenzaun utilizzo continuo non causa alcun problema.

    Le caratteristiche

    • minimo autoriscaldamento grazie al basso consumo energetico
    • utilizzo continuo
    • riconosce in modo affidabile rotture di cavo e cortocircuiti
    • dimensioni D4, D6,5, M5, M8 e 5x5
    Interrogazione affidabile con sensori NAMUR nella lavorazione dei wafer
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