Controllo di presenza tramite canale della custodia sulla camera del vuoto

Controllo di presenza tramite canale della custodia sulla camera del vuoto

Riconoscimento affidabile dei wafer anche in estrema ristrettezza

La soluzione

I sensori optoelettronici BOH Balluff, anche nello stretto canale della custodia sulla camera del vuoto, permettono un affidabile controllo di presenza dei wafer. Dispongono di micro-ottiche a spot piccolo. La funzione sigillante la implementiamo in base alle vostre specifiche di progetto.

Le caratteristiche

  • micro-ottiche a spot piccolo
  • robusta custodia di acciaio con funzione sigillante in base alle specifiche di progetto
  • per applicazioni sottovuoto fino a 1x10-9 mbar
  • pratica regolazione a distanza tramite amplificatore esterno
Riconoscimento affidabile dei wafer anche in estrema ristrettezza
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