Riconoscimento di presenza e posizione di wafer "a lama"

Riconoscimento di presenza e posizione di wafer "a lama"

Due opzioni di fotocellule di riferimento per sistemi Load-Lock

La soluzione

I nostri sensori optoelettronici BOH riconoscono in modo affidabile la presenza e la posizione dei wafer"a lama", cioè senza zona morta. La loro altezza di installazione ultrapiatta permette l'integrazione poco ingombrante nel vostro sistema.

Le caratteristiche

  • ingombro ridotto grazie all'altezza di installazione ultrapiatta (1,7 mm)
  • nessuna zona morta
  • cavo PTFE con uscita ottimizzata
  • pratica regolazione a distanza tramite amplificatore esterno
Riconoscimento di presenza e posizione di wafer „on Blade“
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Industry Team
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