ウエハの有無確認

ウエハの有無確認

信頼ある有無確認の2つの方法

ソリューション – バリエーション 1

Balluffの静電容量センサBCSに直径18 mmで設置に要する高さが2.5mmの非常にコンパクトなものがあります。これにより完全に組み込むことができ、外部のセンサアンプにより、遠隔からの調整が可能です。

特長

  • 薄くてコンパクト(高さ2.5mm、直径18mm)
  • 柔軟性に優れた 3 芯接続ケーブル
  • ステンレス製のディスク、PTFE 製の検出面
  • 外部のアンプによる簡単な遠隔調整

ソリューション – 方法2

Balluffの光電センサBOHには高さわずか1.7mmの極めて薄いタイプがあります。これらは完璧に組み込むことができます。また、外部のセンサアンプによって簡単に微調整することができます。

特長

  • 薄くてコンパクト(高さ1.7mm)
  • 柔軟性に優れた 3 芯接続ケーブル
  • ステンレスハウジング
  • 赤外光
  • 真空対応
  • 外部のアンプによる簡単な遠隔調整
ウエハの存在チェック
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