マッピングセンサ – 狭小空間での高精度な検知

マッピングセンサ
マッピングセンサ

エンドエフェクタに組込み可能、ウエハマッピング用に最適

ウエハマッピング用に Balluff では、エンドエフェクタに最適に組込み可能な高精度の光電センサを提供します。部分的に極めて薄い部位のあるエンドエフェクタ専用に開発されたマッピングセンサは、最適に制御・集束された、均一性に優れたスポットを使用しています。このセンサにより、厚さ数 µm のウエハのエッジを極めて高精度に検知できます。また、スロットに空きがない状態、二重になっているウエハ、斜めになったウエハをいつでも確実に検知できます。

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マッピングセンサは光学的 MICROmote 技術をベースにしています。このセンサは極めて小さい光学センサヘッドと外部プロセッサユニット(アンプ)を組み合わせ、非常に柔軟なケーブルで接続されています。マッピングセンサをすべての MICROmote センサと同様に、要求度の高い機械的な取付状況に合わせて調整することができます。狭小空間での高精度な検知が行えます。

特長

  • 非常に小さい取付けスペース、非常に柔軟なセンサケーブル
  • 多機能なセンサヘッド
  • 外部アンプユニット BAE により、個々のアプリケーションに柔軟に適応

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