프로세스 보안을 지원합니다
프로세스 보안을 지원합니다

프로세스 보안을 지원합니다

비범한 설계 특징을 가진 발루프의 센서는 진공 상태에서도 바로 사용할 수 있습니다.예를 들어 정렬 중에 웨이퍼가 진공 잠금 장치의 중앙에 위치 여부 또는 웨이퍼의 존재를 확인해야 할 때 사용할 수 있습니다.

발루프는 씰링 기능으로 된 Thread-in 버전 뿐만 아니라 고진공에 직접 설치할 수 있는 센서도 제공합니다. 이 센서의 시그널은 케이블 피팅(fitting)을 경유하여 전자 케이블을 통해 안정적으로 방출되어집니다.
특별 사항 : 센서에 대해 탈가스 분석에 최적화된 자재를 사용하기에 공정은 안전하게 유지됩니다.요청시에 발루프는 원하는 재질의 센서를 제작해 드립니다.

적용 사례

 

 

  • 웨이퍼 센터링

    웨이퍼 센터링

    솔루션

    두개의 MicroMote 투수광 센서를 사용하면 즉각적인 웨이퍼의 정렬을 안정적으로 보장할 수 있습니다. 이 센서의 고정밀 시그널은 투수광 센서용 스위칭이 동시에 이뤄지지 않을때 이상적인 라인을 위한 오프셋 계산을 가능하게 합니다. Microspot 기술로 날카로운 웨이퍼 가장자리를 정밀하게 감지하기 때문에 웨이퍼를 바로 수정할 수 있습니다.

    주요 특성

    • 뛰어난 균일성을 가진 매우 집중된 LED 광점
    • 최소형, 공간 절약형 폼팩터
    웨이퍼 센터링
    적합한 제품 찾기 다운로드

    산업지원팀

    궁금한 점이 있거나 조언이 필요하십니까? 발루프 산업지원팀은 여러분의 문의를 기다립니다.

  • 웨이퍼 존재 여부 감지

    웨이퍼 존재 여부 감지

    솔루션

    안정적인 공정을 보장하기 위해서는 발루프의 탈가스 분석에 최적인 확산 광센서를 사용하여 웨이퍼 또는 캐리어의 존재 여부를 모니터 할 수 있습니다. 외부 증폭기가 있는 적외선 센서는 진공 상태에서 사용하기 적합합니다. 아주 적은 취약 영역이 있는 1.7mm 높이의 초박형 폼 팩터는 진공 챔버의 제한된 공간에서 완벽합니다.

    주요 특성

      • 초박형 설치 높이로 공간 절약
      • 사각지대 없음
      • 매우 견고한 스테인리스 스틸 본체
      웨이퍼 존재 여부 감지
      적합한 제품 찾기 다운로드

      산업지원팀

      궁금한 점이 있거나 조언이 필요하십니까? 발루프 산업지원팀은 여러분의 문의를 기다립니다.

    • 웨이퍼 존재 여부 확인

      웨이퍼 존재 여부 확인

      솔루션

      독립된 전자 장치가 있는 발루프의 포토센서는 소형 광점으로 특수 광학 장치를 사용하여 조리개를 통해 웨이퍼 또는 캐리어의 존재 여부를 감지합니다. 스테인리스 스틸 본체인 진공 호환 가능한 확산 광센서를 공정 챔버에 쉽게 끼웁니다. 그런 다음 이 챔버는 밀봉되어 케이블 피드스루가 필요하지 않습니다.

      주요 특성

      • 작은 광점의 마이크로 옵틱
      • 밀봉 기능이 있는 견고한 스테인리스 스틸 본체
      • 최대 1x10-9 mbar의 진공 어플리케이션
      웨이퍼 존재 여부 확인
      적합한 제품 찾기 다운로드

      산업지원팀

      궁금한 점이 있거나 조언이 필요하십니까? 발루프 산업지원팀은 여러분의 문의를 기다립니다.