프로세스 단계 간에서도높은 정밀도
프로세스 단계 간에서도높은 정밀도

프로세스 단계 간에서도높은 정밀도

엔드이펙터(End-Effector) 또는 프리-얼라이너(Pre-aligner)와 같은 EFEM 모듈에서 발루프는 웨이퍼 취급에 관해 고정밀도를 제공합니다. 극도의 정확성만이 웨이퍼를 정확하게 위치하며 각각의 프로세스 단계마다 신뢰성있게 전달되게 합니다.

발루프의 센서와 시스템은 소형 폼 팩터로 제공함으로 머신 통합에 대한 요구사항을 쉽게 충족시킵니다. 조건이 특히 까다로운 경우라도, 결국 모든 앤드 이펙터가 다릅니다. 개별 요구사항은 발루프의 기술력으로 이 역시 조정할 수 있습니.

비접촉 측정 원리는 마모를 방지하여 전체 공정에서 클린룸 등급을 유지할 수 있습니다.웨이퍼 취급에 대한 안정적인 모니터링을 사용하고 공정을 보호하십시오.

적용 사례

 

 

  • 로봇 위치 감지

    로봇 위치 감지

    솔루션

    멀티 로드 포트를 사용하십니까?또는 멀티 공정 챔버를 사용하십니까?그렇다면 발루프의 고정밀 마그네틱 엔코더 시스템을 사용하여 로봇의 움직임을 신뢰적으로 모니터하십시오. 이 비접촉 거리 측정 시스템은 로보트의 위치를 지속적으로 모니터합니다. 그리고 마그네틱 테이프는 필요한 길이로 정확하게 절단할 수 있습니다. 즉, 변화하는 로드 포트 번호를 가진 모듈용 시스템을 사용할 수 있음을 의미합니다.

    주요 특성

    • 비접촉 - 예 : 비마모 또는 절단
    • 유연성 - 요구에 따라 최대 48m의 마그네틱 테이프를 조절 가능
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    산업지원팀

    궁금한 점이 있거나 조언이 필요하십니까? 발루프 산업지원팀은 여러분의 문의를 기다립니다.

  • 로봇 회전(순환) 모니터링

    로봇 회전(순환) 모니터링

    솔루션

    절대 정밀도로 로봇의 앤드 이팩터를 위치하기 위해서는 발루프의 코드화 마그네틱 각도 측정 시스템이 이상적입니다.앤드 이펙터를 전달하는 로봇 조인트의 회전 운동을 점검하고 또 앤드 이펙터를 앤드 포지션에 가져온 후, 마지막으로 웨이퍼를 위치시킵니다.

    주요 특성

    • 쉬운 통합, 작은 센서 헤드
    • 적은 무게로 로보틱스를 완벽하게 만듦
    • 센서와 링 사이의 넒은 거리 : 간결한 설치 - 높은 운영 보안
    로봇 회전(순환) 모니터링
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    산업지원팀

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  • 웨이퍼의 사전 정렬

    웨이퍼의 사전 정렬

    솔루션

    웨이퍼를 프리 얼라이너(Pre-aligner)에 정확히 위치된, 완벽하게 정렬된 챔버 공정으로 가져오십시오.발루프는 뛰어난 균일성을 갖춘 고해상도 라이트 어레이 광학 프리 알라이너에 대한 뛰어난 솔루션을 제안합니다. 추가적으로, 웨이퍼의 정확한 센터링을 위해 노치(notch) 또는 플렛(Flat)을 감지합니다. 발루프의 라이트 어레이는 또한 프리 얼라이너와의 통합에도 이상적입니다.

    주요 특성

    • 매우 정밀한 적색 레이져 : 고해상도 및 극도의 균일성
    • 개별 요구에 부합하기 위한 다양한 라이트 길이
    • 직관적인 조작
    웨이퍼의 사전 정렬
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    산업지원팀

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  • 엔드 이펙트에서 웨이퍼 존재 확인

    엔드 이펙트에서 웨이퍼 존재 확인

    솔루션

    탈가스 분석에 최적화된 광확산 센서를 사용하여 엔드 이펙트에 웨이퍼의 존재 여부를 절대적인 신뢰성으로 확인하십시오.그리하면 사고를 두려워할 필요가 더 이상 없습니다.이 설치 높이는 단지 1.7mm이기 때문에 발루프의 광확산 센서는 극도로 얇은 경우에도 앤드 이펙터와 완벽하게 통합할 수 있습니다.

    주요 특성

    • 완벽한 플랫(Flat) : 앤드 이펙트에 완벽함
    • 클린룸용 탈가스 분석에 최적화됨
    • 간단한 원격 조정
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    산업지원팀

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  • 엔드 이펙트에서 웨이퍼 존재 확인

    엔드 이펙트에서 웨이퍼 존재 확인

    솔루션

    PTFE 코팅된 정전 용량 센서를 이용하여 엔드 이펙트에서 웨이퍼의 존재여부를 확인할 수 있습니다. 이 센서는 처지는 경우에도 뛰어난 안정성으로 초박형 웨이퍼를 감지합니다. 설치 높이는 단지 2.5mm이기에 엔드 이팩터로 완벽한 통합을 보장합니다. 외부 증폭기는 쉽게 원격 조정이 가능합니다.

    주요 특성

    • 완벽한 플랫(Flat) : 2.5mm
    • PTFE 본체, 다양한 표면에 적합
    • 최소한의 패키지로 높은 정밀성
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    산업지원팀

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  • 엔드 이펙트에서 웨이퍼 존재 확인

    엔드 이펙트에서 웨이퍼 존재 확인

    솔루션

    발루프의 근접 센서는 정확한 위치를 감지하는 동시에 엔드 이펙터에서 웨이퍼의 존재 여부를 판단하는 다른 방법을 제공합니다.발루프의 단락 보호 NAMUR 센서는 나란히 설치할 수 있기에 여러 위치를 감지할 수 있습니다. 폼 팩터는 4mm만큼 작기에 이 센서는 엔드 이펙터로 문제없이 통합할 수 있습니다.

    주요 특성

      • 케이블 파손 및 단선에도 안정적인 감지
      • 개별적 요구에 맞는 다양한 폼 팩터 가능
      • 엔드 이펙터에 통합 가능
      엔드 이펙트에서 웨이퍼 존재 확인
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    • 안정적인 웨이퍼 매핑

      안정적인 웨이퍼 매핑

      솔루션

      절대적인 신뢰성으로 단 몇 μm 두께의 웨이퍼 가장자리를 감지합니다. 발루프의 Micromote 센서로 제어되고, 집중된 광점은 탁월한 정밀도를 제공합니다. 발루프의 Micromote 센서는 전체 슬롯(Slot), 이중 웨이퍼 또는 잘못 배치된 웨이퍼들을 항상 안정적으로 감지합니다. 유연한 케이블과 소형 폼 팩터로 설계의 자유를 누릴 수 있습니다.

      주요 특성

      • 최소의 공간에서도 탁월한 정밀도 - 최소 개방 각도
      • 다양한 엔드 이펙트에 적용 가능
      • 모듈러 키트 시스템 - 특정 기계 설치 환경에 완벽
      안정적인 웨이퍼 매핑
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      산업지원팀

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    • 웨이퍼 프레임 추적

      웨이퍼 프레임 추적

      솔루션

      웨이퍼 프레임을 추적할 수 있는 발루프의 비전 시스템을 사용하여 투명한 공정을 확립하십시오. 시스템을 안정적으로 검사 할 수 있도록 프레임에 바코드를 장착합니다. 그러면 이제 웨이퍼가 분쇄되어 분리되었는지를 항상 알 수 있습니다.

      주요 특성

      • 추적을 위한 안정적인 솔루션
      • 간결하고 직관적인 작동
      웨이퍼 프레임 추적
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