화학적 환경에서 신뢰할 수 있는 가공
화학적 환경에서 신뢰할 수 있는 가공

화학적 환경에서 신뢰할 수 있는 가공

반도체 생산에서 특별한 과제를 해결하기 위해, 발루프는 습식 화학의 공정을 위한 최적의 솔루션을 제안합니다. 특수 PTFE 본체를 사용하면 에칭, 웨이퍼 클린 또는 코팅, 그리고 리소그래피 현상과 같은 수준을 모니터할 수 있습니다. 발루프의 온도 센서는 공정 온도가 정확한지 아닌지를 확인 가능합니다. 왜냐하면 이 접촉 센서가 웨이퍼 가공의 온도를 안정적으로 모니터하기 때문입니다.

발루프의 센서로 밸브 스트로크를 제어할 수 있기에 균일하게 생산할 수 있으며, 침전하는 코팅에 이상적입니다.

적용 사례

 

 

  • 비접촉으로 컨테이너 벽을 통해 레벨 감지

    비접촉으로 컨테이너 벽을 통해 레벨 감지

    솔루션

    발루프의 정전용량 센서를 사용하면 산성, 염기 및 초순수 탱크에서도 이상적으로 레벨을 확인하여 습식 화학에서도 마찰없는 공정 체인을 보장합니다. 최대 10mm 두께의 유리 및 플라스틱 용기 벽을 통해서도 안정적으로 감지합니다. 산성과 같은 전도성이 높은 매체는 거품을 제외하고 측정하는 발루프의 정전 용량성 하이-앤드(High-End) 센서를 사용하면 됩니다.

    주요 특성

      • 산성, 염기, 초순수 및 슬러리에 적합
      • 바이 패스(by-pass) 없음
      비접촉으로 컨테이너 벽을 통해 레벨 감지
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      산업지원팀

      궁금한 점이 있거나 조언이 필요하십니까? 발루프 산업지원팀은 여러분의 문의를 기다립니다.

    • 바이 패스 튜브에 접촉 없이 레벨 모니터

      바이 패스 튜브에 접촉 없이 레벨 모니터

      솔루션

      탱크에 위험한 화학 내용물이 넘치는 것 또는 고갈되는 것을 바이 패스 튜브의 도움으로 모니터링하여 방지할 수 있습니다. 케이블 타이를 사용하여 바이 패스 튜브에 소형 정전 용량 센서를 설치해 보십시오. 이는 매우 간단하고 비용도 저렴합니다. 축적되는 거품을 보완하기 위해서 가성 소다와 같은 전도성이 높은 매체도 안정적으로 감지하는 하이-앤드 버전이 있습니다.

      주요 특성

      • 산성, 염기, 초순수 및 슬러리에 적합
      • 축적되는 거품을 보완하기 위한 스마트 레벨 기술
      바이 패스 튜브에 접촉 없이 레벨 모니터
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      산업지원팀

      궁금한 점이 있거나 조언이 필요하십니까? 발루프 산업지원팀은 여러분의 문의를 기다립니다.

    • 매체 접속하여 유동체 공정 감지

      매체 접속하여 유동체 공정 감지

      솔루션

      컨테이너 벽 밖에서 안을 감지를 할 수 없을 때, PTFE 하우징을 갖추고 있는 발루프의 정전 용량성 센서가 올바른 선택입니다. 산성 및 염기와 같은 전도성이 높은 매체의 레벨을 유동체 공정에서 바로 감지합니다. 이는 예를 들어 레지스트의 에칭, 또는 도포 리소그래피 이후의 현상, 또는 기계 화학적 연마 및 웨이퍼 세척 등이 계획한 대로 시작될 수 있음을 의미합니다.

      주요 특성

      • 높은 화학적 내성을 위한 PTFE 하우징
      • 산성, 염기, 초순수 및 슬러리에 적합
      • 거품 및 빌드업 보완을 위한 스마트 레벨 기술
      매체 접속하여 유동체 공정 감지
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      산업지원팀

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    • 비접촉으로 지속적인 레벨 모니터

      비접촉으로 지속적인 레벨 모니터

      솔루션

      액체 레벨을 항상 확인하고 싶은가요?증폭기가 있는 발루프의 접착식 정전 용량 센서 헤드라면 문제 없습니다. 레벨은 지속적으로 모니터링 될 수 있기에 최소 또는 최대 값 위반을 감지할 수 있을 뿐만 아니라 한 개의 센서로 전체 범위의 레벨을 감지할 수 있습니다. 아주 실용적인 점 : 센서 헤드를 유연하게 필요한 형태 및 사이즈로 재단하고 컨테이너 벽에 바로 붙이기만 하면 됩니다.

      주요 특성

      • 연속 측정 및 최소/최대 레벨 감지를 모두 처리
      • 접착면 통합
      • 일반적인 감지 범위-108~850mm
      비접촉으로 지속적인 레벨 모니터
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      산업지원팀

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    • 정확하게 누출 감지

      정확하게 누출 감지

      솔루션

      발루프의 초소형 정전 용량 센서는 경미한 누출량도 안정적으로 감지하는 것을 보장합니다. 제공된 홀더를 사용하여 툴 베이스로 부터 2mm 거리에 센서를 간단하게 붙인 후 세팅하면 됩니다.최악의 경우, 예를 들어 산성 액체와 같은 위험한 화학물이 빠져 나오면 즉시 조치를 취할 수 있습니다.

      주요 특성

      • 고정형 홀더 제공
      • 극소의 양도 감지함
      • 여러 화학물에도 안정적인 감지
      정확하게 누출 감지
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      산업지원팀

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    • 각각의 공정 단계에서 웨이퍼 온도 확인

      각각의 공정 단계에서 웨이퍼 온도 확인

      솔루션

      발루프의 매체 접촉 온도 센서는 온도 제어 프로세스에서 공정 매체의 열을 유지하게 도와줍니다.그리고 이 센서는 액체 또는 기체에도 가능합니다.온도 제한과 같은 중대한 공정 상태를 지속적으로 모니터링 할 수 있습니다. 이 센서를 사용하려 선택만 하여도, 이 센서는 공정 보안에 크게 기여할 것입니다.

      주요 특성

      • 간단한 설치
      • 직접 또는 기체의 온도 측정
      • 소형 폼 팩터
      각각의 공정 단계에서 웨이퍼 온도 확인
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      산업지원팀

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    • 안정적인 플로우 밸브 모니터

      안정적인 플로우 밸브 모니터

      솔루션

      챔버 공정으로 매체의 정기적인 흐름이 밸브에 의해 제어되어 질때, 밸브가 진정으로 안정되어야 합니다. 결국 이 흐름(Flow)은 고품질 공정에 기여합니다. 이것이 근접 센서를 사용하여 밸브를 모니터링해야 하는 이유입니다. 이 센서는 M5와 같은 소형 폼 팩터에서도 견고하게 사용할 수 있기에 높은 안정성으로 밸브와 쉽게 통합됩니다.

      주요 특성

      • 쉽게 통합할 수 있는 소형 폼 팩터
      • 설치 후 센서 뒷면의 LED로 확인 가능
      • 외부 증폭기 필요 없음
      안정적인 플로우 밸브 모니터
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      산업지원팀

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