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비접촉으로 정확한 위치 선정

비접촉으로 정확한 위치 선정

발루프 시스템은 FOUP 또는 SMIF pod와 상관없이 정확하고 효율적인 캐리어 처리를 지원합니다.캐리어가 완벽하게 자동으로 전송되어질 때, 발루프 시스템은AMHS의 움직임을 모니터합니다. RGV로 단거리 또는 OHV로 장거리에도 뛰어난 신뢰성을 제공합니다.

동시에 발루프의 비접속 시스템은 정확한 위치를 제공합니다. 웨이퍼는 모든 공정 단계마다 정확하게 운반되어지며, 마모와 분열에는 아무런 문제가 되지 않습니다.

발루프 시스템은 또한 일관된 추적성을 제공합니다.또한, 이 시스템은 운반 위치가 실시간으로 문서화되도록 합니다.

적용 사례

 

 

캐리어 유무 확인
안정적인 캐리어 추적
끊임없는 AMHS 위치 감지
AMHS의 최종 위치 확인