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프로세스 단계 간에서도높은 정밀도

프로세스 단계 간에서도높은 정밀도

엔드이펙터(End-Effector) 또는 프리-얼라이너(Pre-aligner)와 같은 EFEM 모듈에서 발루프는 웨이퍼 취급에 관해 고정밀도를 제공합니다. 극도의 정확성만이 웨이퍼를 정확하게 위치하며 각각의 프로세스 단계마다 신뢰성있게 전달되게 합니다.

발루프의 센서와 시스템은 소형 폼 팩터로 제공함으로 머신 통합에 대한 요구사항을 쉽게 충족시킵니다. 조건이 특히 까다로운 경우라도, 결국 모든 앤드 이펙터가 다릅니다. 개별 요구사항은 발루프의 기술력으로 이 역시 조정할 수 있습니.

비접촉 측정 원리는 마모를 방지하여 전체 공정에서 클린룸 등급을 유지할 수 있습니다.웨이퍼 취급에 대한 안정적인 모니터링을 사용하고 공정을 보호하십시오.

적용 사례

 

 

로봇 위치 감지
로봇 회전(순환) 모니터링
웨이퍼의 사전 정렬
엔드 이펙트에서 웨이퍼 존재 확인
엔드 이펙트에서 웨이퍼 존재 확인
엔드 이펙트에서 웨이퍼 존재 확인
안정적인 웨이퍼 매핑
웨이퍼 프레임 추적