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화학적 환경에서 신뢰할 수 있는 가공

화학적 환경에서 신뢰할 수 있는 가공

반도체 생산에서 특별한 과제를 해결하기 위해, 발루프는 습식 화학의 공정을 위한 최적의 솔루션을 제안합니다. 특수 PTFE 본체를 사용하면 에칭, 웨이퍼 클린 또는 코팅, 그리고 리소그래피 현상과 같은 수준을 모니터할 수 있습니다. 발루프의 온도 센서는 공정 온도가 정확한지 아닌지를 확인 가능합니다. 왜냐하면 이 접촉 센서가 웨이퍼 가공의 온도를 안정적으로 모니터하기 때문입니다.

발루프의 센서로 밸브 스트로크를 제어할 수 있기에 균일하게 생산할 수 있으며, 침전하는 코팅에 이상적입니다.

적용 사례

 

 

비접촉으로 컨테이너 벽을 통해 레벨 감지
바이 패스 튜브에 접촉 없이 레벨 모니터
매체 접속하여 유동체 공정 감지
비접촉으로 지속적인 레벨 모니터
정확하게 누출 감지
각각의 공정 단계에서 웨이퍼 온도 확인
안정적인 플로우 밸브 모니터