반도체 > 주입 레벨 및 누설 감지
반도체 생산 시 누설 감지

안전한 공정을 위한 스마트 공학

반도체 제조 과정에서는 매우 높은 수준의 안전과 안정성이 요구됩니다. 신뢰성 높은 발루프 센서는 공정 안정성을 향상시킵니다. 이는 설비의 주입 레벨이 항시 최적의 범위 내로 유지될 수 있게 합니다. 누설 또한 조기에 감지해냅니다.

정전 센서 BCS는 반도체뿐 아니라 액체, 과립자 및 미립자 같은 부도체까지도 용기 벽을 통해 비접촉 방식으로 감지할 수 있습니다. SmartLevel 기술이 적용된 정전 센서는 10 mm에 달하는 용기 벽을 통과해 농축 애시드 및 침출물을 최초로 감지해 냅니다.

발루프 센서는 조립이 간편하고, 기존 설비와도 쉽게 통합이 가능합니다. 이는 공정 안정성은 물론 효율성 및 경제성도 보장해줍니다.

적용 사례

용기 벽을 통해 비접촉 방식으로 주입 레벨 탐지
바이패스 튜브의 주입 레벨 확인
매질 접촉 방식으로 탱크 내 주입 레벨 감지
비접촉 방식으로 탱크 주입 레벨 측정
토출 용기의 누수 탐지