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진공 상태에서의 적용을 위한 고정밀 센서 솔루션

진공 상태를 위한 고정밀 솔루션

고진공, 초고 진공, 초순수 진공 상태에 직접 노출되어야 하는 센서는 생산성이 매우 높게 설계되어야 합니다. 발루프는 고진공 상태에서의 설치를 돕기 위해 밀폐 기능을 지닌 스크류-인 방식의 모델과 고정밀 포토 센서를 제공하고 있습니다. 이때 각종 신호는 스피드-스루 솔루션을 통해 전기 케이블을 거쳐 진공 챔버 밖으로 송출됩니다.

적용 사례

진공 락 내부에서 웨이퍼 중심 정렬
진공 챔버의 하우징 도관을 이용한 장착 여부 체크
‘온 블레이드’ 웨이퍼의 장착 여부 및 위치 감지